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北京華測試驗(yàn)儀器有限公司>>技術(shù)文章>>什么是四探針法?

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什么是四探針法?

閱讀:2736        發(fā)布時間:2021/4/22
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     四探針法通常用來測量半導(dǎo)體的電阻率。四探針法測量電阻率有個非常大的優(yōu)點(diǎn),它不需要較準(zhǔn);有時用其它方法測量電阻率時還用四探針法較準(zhǔn)。

     與四探針法相比,傳統(tǒng)的二探針法方便些,因?yàn)樗恍枰僮鲀蓚€探針,但是處理二探針法得到的數(shù)據(jù)卻很復(fù)雜。如圖一,電阻兩端有兩個探針接觸,每個接觸點(diǎn)既測量電阻兩端的電流值,也測量了電阻兩端的電壓值。

我們希望確定所測量的電阻器的電阻值,總電阻值:

RT=V/I=2RW+2RC+RDUT;其中RW是導(dǎo)線電阻,RC是接觸電阻,RDUT所要測量的電阻器的電阻,顯然用這種方法不能確定RDUT的值。矯正的辦法就是使用四點(diǎn)接觸法,即四探針法。如圖二,電流的路徑與圖一中相同,但是測量電壓使用的是另外兩個接觸點(diǎn)。盡管電壓計測量的電壓也包含了導(dǎo)線電壓和接觸電壓,但由于電壓計的內(nèi)阻很大,通過電壓計的電流非常小,因此,導(dǎo)線電壓與接觸電壓可以忽略不計,測量的電壓值基本上等于電阻器兩端的電壓值。

通過采用四探針法取代二探針法,盡管電流所走的路徑是一樣的,但由于消除掉了寄生壓降,使得測量變得精que了。四探針法在后來,已經(jīng)變得十分普及,命名為四探針法。

Huace-800高溫四探針測試儀器采用四探針雙電測量方法,適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料在高溫、真空及氣氛條件下測量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示,無需人工計算,并帶有溫度補(bǔ)償功能。采用AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,配備10英寸觸摸屏,軟件可保存和打印數(shù)據(jù),自動生成報表;本儀器可顯示電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率,配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項(xiàng)目要求選購。

雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高精que度,也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測以及新材料電學(xué)研究等用途。


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