聯(lián)系電話
湘潭市三星儀器有限公司
中級(jí)會(huì)員·18年
- 聯(lián)系人：
- 鐘小姐
- 電話：
- 0731-58223395 58223399 13341323987
- 手機(jī)：
- 13037327145鐘 18975216877周
- 售后：
- 13341323987 17680327681
- 傳真：
- 0731-52835066
- 地址：
- 湖南省湘潭市高新區(qū)雙馬街道五號(hào)路東方金谷產(chǎn)業(yè)城C03棟1101
- 個(gè)性化：
- www.xtdl.org
- 網(wǎng)址：
- www.xtdl.org
掃一掃訪問(wèn)手機(jī)商鋪
 提 供 商 |
湘潭市三星儀器有限公司 |  資料大小 |
330.8KB |
|---|---|---|---|
 資料類型 |
PDF 文件 |  資料圖片 |
【點(diǎn)擊查看】 |
 下載次數(shù) |
181次 |  瀏覽次數(shù) |
973次 |
CVD: 化學(xué)氣相沉積（Chemical Vapor Deposition)
CVD: 化學(xué)氣相沉積（Chemical Vapor Deposition)，用含有目標(biāo)元素的氣體，接收能量后通過(guò)化學(xué)反應(yīng)，制備固體薄膜。CVD(化學(xué)氣相沉積)是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來(lái)沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。從理論上來(lái)說(shuō)，它是很簡(jiǎn)單的:兩種或兩種以上的氣態(tài)原材料導(dǎo)入到一個(gè)反應(yīng)室內(nèi)，然后他們相互之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成一種新的材料，沉積到晶片表面上。淀積氮化硅膜(Si3N4)就是一個(gè)很好的例子，它是由硅烷和氮反應(yīng)形成的。化學(xué)氣相沉積法是傳統(tǒng)的制備薄膜的技術(shù)，其原理是利用氣態(tài)的反應(yīng)物，通過(guò)原子、分子間化學(xué)反應(yīng)，使得氣態(tài)前驅(qū)體中的某些成分分解，而在基體上形成薄膜?；瘜W(xué)氣相沉積包括常壓化學(xué)氣相沉積、等離子體輔助化學(xué)沉積、激光輔助化學(xué)沉積、金屬有機(jī)化合物沉積等。
