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當(dāng)前位置：上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>雷博科學(xué)儀器>>工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備>> ET20刻蝕機(jī)
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產(chǎn)品型號(hào):ET20
品 牌:其他品牌
廠商性質(zhì):代理商
所 在 地:上海市
更新時(shí)間：2025-03-13 08:52:00瀏覽次數(shù)：3149次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 化工儀器網(wǎng)| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 | 旋轉(zhuǎn)速度范圍 | 0-3000rpm |
|---|---|---|---|
| 加速度范圍 | 20-5000rpm/s | 轉(zhuǎn)速精度 | ±1rpm |
| 刻蝕管路 | ≤2路(扇形或錐形噴嘴） | 設(shè)備尺寸 | 1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H) |
刻蝕機(jī)
刻蝕機(jī)是一種用于電子與通信技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器，于2012年5月14日啟用。
產(chǎn)品介紹
適合于8英寸及以下晶圓的單片刻蝕工藝
可選耐腐蝕PP柜體
可按客戶需求定制設(shè)備規(guī)格
全自動(dòng)擺臂、可配備多路刻蝕液
觸摸式人機(jī)交互界面,實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)
可選蝕刻液加熱控溫及FFU功能
專用排風(fēng)、排廢系統(tǒng)、提高設(shè)備的安全性
產(chǎn)品參數(shù)
旋轉(zhuǎn)速度范圍：0-3000rpm
加速度范圍：20-5000rpm/s
轉(zhuǎn)速精度：±1rpm
刻蝕管路：≤2路(扇形或錐形噴嘴）
設(shè)備尺寸：1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)
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