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四川致研科技有限公司

新設(shè)備已完成:真空鍍膜機(jī)

時(shí)間:2017-3-10 閱讀:3378
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設(shè)備裝配過(guò)程(1)

這是我公司近期的一個(gè)定制項(xiàng)目,為客戶定做了一臺(tái)真空鍍膜機(jī)。本實(shí)驗(yàn)設(shè)備適用于鍍制各種多層光學(xué)薄膜和電學(xué)膜,是有關(guān)工廠、研究院和大專院校進(jìn)行生產(chǎn)和科研的理想設(shè)備。

 

設(shè)備裝配過(guò)程(2)

本設(shè)備采用箱式結(jié)構(gòu),抽氣系統(tǒng)后臵,便于拆卸和維修。整機(jī)表面平整,便于清潔,適合凈化間安裝。蒸發(fā)室全部采用不銹鋼制造,外有可通冷、熱水的護(hù)罩,可對(duì)壁進(jìn)行加熱(熱水器選配)或冷卻。閥門采用氣動(dòng),操作方便,使用可靠。液氮冷阱和水冷擋板設(shè)計(jì)為一整體。蒸發(fā)室抽氣口也設(shè)臵一光學(xué)密封機(jī)械擋板,因此可使蒸發(fā)室的油污染降低到極低的程度。本設(shè)備配備的抽氣元件抽速較大,因此具有抽氣時(shí)間短,工作真空度高,生產(chǎn)周期短等特點(diǎn)。

 

完工后的設(shè)備

主要技術(shù)參數(shù)

1)真空,極限真空:2×10-4Pa              2)恢復(fù)真空,從大氣→2×10-3Pa≤10min

 

3)蒸發(fā)室,腔體尺寸:500x500x700    4)工件夾具:外徑φ100mm

 

5)夾具轉(zhuǎn)速:N=9-300rpm                  6)電源:220v/50Hz

 

7)總功率:3kw                                8)溫濕度數(shù)據(jù)記錄頻率:1次/分(容量>6小時(shí))

 

9)手動(dòng)排氣閥直徑:25mm                 10)頂部機(jī)械壓力表測(cè)量范圍:-0.1Mpa-0

 

11)平板電極材質(zhì):紫銅(300x300x2)    12)膜厚測(cè)試儀測(cè)量范圍:20nm-1μm

 

13)起泡器溫控精度:±0.5℃                      14)起泡器外接接口尺寸:1/4寸

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