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技術(shù)文章

EZ4高精密勻膠機(jī)

閱讀:2523          發(fā)布時(shí)間:2018-4-19

產(chǎn)品介紹:

名    稱:高精密勻膠機(jī)

型    號(hào):EZ4

原產(chǎn)地:美國,USA

應(yīng)    用:在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

產(chǎn)品概述:

EZ4高精密勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物,使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和單片機(jī)控制,文本顯示器人機(jī)界面。
  EZ4高精密勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4采用全陽極氧化鋁面板外殼,PP材料內(nèi)腔,經(jīng)久耐用。

EZ4高精密勻膠機(jī)性能參數(shù):

l   支持wafer尺寸:碎片(小于1cm)至100mm(4"圓晶)

l   速度可調(diào)范圍:100-10000rpm

l   加速度可調(diào)范圍:100-10000rpm/s

l   轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm

l   轉(zhuǎn)速精度:<±5rpm

l   可編程5組5步程序

l   寬電壓輸入:AC100-230V

產(chǎn)品特點(diǎn):

l   75W 直流無刷電機(jī),單片機(jī)控制

l   高清晰文本顯示器

l   可單步和多步勻膠操作

l   PP耐腐蝕內(nèi)腔,可更換

l   鋁合金陽極氧化外殼,美觀大方

l   耐溶劑PC透明蓋

l   多角度定位鉸鏈設(shè)計(jì)

l   HDPE真空吸盤

產(chǎn)品外型尺寸:
    250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)

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