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貨物所在地：上海上海市
更新時(shí)間：2024-08-07 17:28:40
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Diener 等離子蝕刻機(jī) FEMTO RIE
·適用6寸以下樣品的處理
·用于塑膠材料表面的處理
·配置自動/手動模式，實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能
·桌上型，省空間
·適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
·表面清洗活化
·表面蝕刻
型號 | FEMTO RIE(防腐)*1 | FEMTO RIE(防腐)*1 |
控制方式 | 按鍵操作控制 | Windows CE 7"觸摸屏操作控制 |
操作方式 | 手動 | 手動/自動 |
程序存儲 | — | 50組 |
工藝過程監(jiān)控 | — | 二維折線圖與數(shù)字實(shí)時(shí)顯示 |
程序偏離值 | — | 抽真空時(shí)間、進(jìn)氣量偏差值，實(shí)際功率輸出 |
報(bào)錯(cuò)功能 | — | 顯示詳細(xì)的報(bào)錯(cuò)信息 |
數(shù)據(jù)導(dǎo)入導(dǎo)出 | — | USB |
選程控制 | — | 選配 |
工藝氣路 | 單路，雙路，三路 | |
工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2（CF4,SF6，NH3）*1 | |
流量計(jì) | 針閥流量計(jì)（可選防腐針閥流量計(jì)）*1 | MFC流量計(jì)（可選防腐MFC流量計(jì)）*1 |
沖洗氣路 | 一路 | |
泄氣氣路 | 一路 | |
真空計(jì) | 指針式/0-10mbar | 數(shù)字式/0-9.99mbar |
計(jì)時(shí)器 | 0~999.9H | |
真空腔體 | 不銹鋼圓形腔體 蓋子門帶觀察窗 尺寸Φ190mm x H60mm 容積1.7L | |
電極 | 不銹鋼氣浴RIE電極， Φ160mm | |
發(fā)生器 | 40 kHz 0-100W ,100 kHz 0-500W, 13.56 MHz 0-300W | |
外形尺寸（WxDxH） | 560 x 600 x 860mm | |
電源 | AC230 V / 16 A | |
真空泵 | 排氣速度不小于4m3/H, 極限真空度小于10Pa | |
選配功能 | 托盤冷卻,腔體溫度監(jiān)控,冷水綱 | |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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