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Diener 等離子表面處理儀 ATTO
· 低壓等離子系統(tǒng)，用于不同材料表面的處理
· 配置自動/手動模式，實現控制高機能
· 10.5L腔體可處理多種樣品
· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
· ８" Wafer去膠清洗
型號 | ATTO | ATTO PCCE | |
控制系統(tǒng) | 手動控制 | PCCE 控制系統(tǒng) | |
工藝氣路 | 雙路氣體 | ||
工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等 | ||
單體導入 | H2O等單體（選配） | ||
流量計 | 針閥流量計 | MFC流量計 | |
真空 腔體 | 材質 | 高硼硅玻璃腔體，蓋子門帶觀察窗(石英，鉸鏈門選配) | |
內尺寸(Dia.×D) | 211×300mm | ||
容積 | 10.5L | ||
電極 | 360度外置環(huán)繞電極 | ||
發(fā)生器* | 40KHz 0~200 W 13.56MHz 0~50 W 13.56MHz 0~300 W | ||
真空壓力計 | 指針式壓力計（選購） | 皮拉尼數字式壓力計 | |
計時器 | 旋鈕式（選購） | 數字式 | |
托盤 | 高硼硅玻璃（石英選配）W200xD260xH5mm | ||
外形尺寸（WXDxH）mm | 525x450xD450 | ||
電源 | AC220V 50Hz 10A | ||
真空泵 | 排氣速度8m3/H | ||
上海爾迪儀器科技有限公司是一家代理經銷國內外儀器的專業(yè)公司。秉承“銷售*儀器、提供優(yōu)質服務"的宗旨，在制藥、化工、環(huán)保、科研、大學、醫(yī)學等領域開拓了廣泛的市場，并贏得了廣大用戶的支持和信賴。爾迪在今后的發(fā)展中，將貫徹誠信、服務、務實、創(chuàng)新的經營理念，一如既往地把國內外優(yōu)秀的儀器設備介紹并提供給國內的用戶。孜孜追求，不懈努力，不斷提高服務水平，為提升用戶的檢測水平和科研水平貢獻各自的綿薄之力，與廣大用戶共同享受科技成果，在互利協(xié)作中共同進步。
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