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瀏覽次數Siargo矽翔MF5712-G-250-B-C氣體質量流量計通迅資料下載
MF5700系列氣體質量流量計是基于矽翔微機電系統(tǒng)有限公司自主研制的MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳質的依存關系，在其上、下游產生溫度變化而得到氣體的質量流量。
該流量計同時實現(xiàn)熱源的產生與溫度的測量。當芯片處于工作狀態(tài)時，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。一旦一定質量的氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，形成特定的、取決于該氣體的質量和速度的溫度場分布。微機電系統(tǒng)流量計芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進行放大、調理并作線性化處理。由于不同質量的氣體對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產生的擾動不同，因而能測量氣體的質量流量或總流量。下圖為該系列流量計的原理框圖。
