日立高新超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SU8000系列（HITACHI UHR FE-SEM SU8000 Series，SU8010，SU8020，SU8030，SU8040）具有共同的功能，諸如超高分辨率技術(shù)（1.3nm/1.0kV），信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)范圍廣，可操作性強(qiáng)，便于用戶操作等。

日立高新超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SU8000系列（HITACHI UHR FE-SEM SU8000 Series，SU8010，SU8020，SU8030，SU8040）提供不同的樣品臺(tái)，樣品室以及信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)，滿足用戶對(duì)超高分辨率顯微鏡的特定需要。

SU8010技術(shù)特點(diǎn)：

1. 低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達(dá)1.3nm

2. 日立的ExB設(shè)計(jì)，不需噴鍍，可以直接觀測(cè)不導(dǎo)電樣品

3. Upper探頭可選擇接受二次電子像或背散射電子像

4. 可以根據(jù)樣品類型和觀測(cè)要求選擇打開(kāi)或關(guān)閉減速功能

5. 標(biāo)配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能

6. 儀器的烘烤維護(hù)及烘烤后的透鏡機(jī)械對(duì)中均可由用戶自行完成

主要技術(shù)指標(biāo)：

① 低加速電壓，高分辨率

② 減輕荷電影響的SE/BSE信號(hào)可變功能

③ SU8000系列的通用控制系統(tǒng)GUI

④ 配備了STEM功能附件

功能附件：

① X-射線能量色散譜儀，簡(jiǎn)稱能譜儀(EDS)，探測(cè)元素范圍Be4-U92

② 掃描透射電子顯微鏡探頭，即STEM，檢測(cè)樣品的透射像

③ 離子濺射儀，可噴Au、噴Pt，用于樣品導(dǎo)電處理

 

產(chǎn)品料號(hào)	產(chǎn)品貨號(hào)	*產(chǎn)品名稱	*產(chǎn)品規(guī)格
HTE000011	HTE000011	SU8010日立新型高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡	SU8010