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日本SMC真空節(jié)流破壞閥ZSE40A-1-R
如果有，如過濾器堵塞，在吸力下降，或反應慢的情況
時，停止操作并更換過濾器。
1，采用精密的驅動程序，移除過濾器組件（！2！4）在主
單元。
2，打開手動過濾指南和刪除。
3，更換過濾器（！3！5），輕輕用手擰緊過濾器引導。在這
次，檢查是否有O型圈過濾器組件上沒有異物。
4，返回的過濾器組件到主單元。
（建筑
真空釋放閥與節(jié)流系列SJ3A6
PS端口
符號：F2
真空高壓側濾波器
符號：F1
釋放壓力側濾波器
11
序號名稱型號。
零部件
插頭
注 30微米淺紫色
<真空高壓側>
1微米白色
<釋放壓力側>5個。包括
1微米白色
<釋放壓力側>
擰緊插頭（M-5P）與1N的擰緊力矩后·米，或手動
擰緊，用緊固工具和四分之轉緊。
！2！4濾清器總成（帶過濾器）！3！5過濾器（5件含）
過濾指南
日本SMC真空節(jié)流破壞閥ZSE40A-1-R
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