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場發(fā)射掃描電鏡（FESEM）是電子顯微鏡的一種，其原理是利用二次電子或背散射電子成像，對樣品表面放大一定的倍數(shù)進(jìn)行形貌觀察，同時(shí)利用電子激發(fā)出樣品表面的特征X射線來對微區(qū)的成分進(jìn)行定性定量分析。

 

場發(fā)射掃描電鏡的分類：

 

1、冷場發(fā)射掃描電鏡

 

冷場發(fā)射掃描電鏡優(yōu)點(diǎn)是電子束直徑小，亮度高，因此影像分辨率高。能量散布小，故能改善在低電壓操作的效果。為避免針尖被外來氣體吸附，而降低場發(fā)射電流，并使發(fā)射電流不穩(wěn)定，冷場發(fā)射式電子槍必需在10^-10torr的真空度下操作，雖然如此，還是需要定時(shí)短暫加熱針尖至2500K(此過程叫做flashing)，以去除所吸附的氣體原子。它的另一缺點(diǎn)是發(fā)射的總電流小。

 

2、熱場發(fā)射掃描電鏡

 

熱場發(fā)射掃描電鏡是在1800K溫度下操作，避免了大部份的氣體分子吸附在針尖表面，所以免除了針尖flashing的需要。熱式能維持較佳的發(fā)射電流穩(wěn)定度，并能在較差的真空度下(10^-9torr)操作。雖然亮度與冷式相類似，但其電子能量散布卻比冷式大3~5倍，影像分辨率較差，通常較不常使用。