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基于NanoFocus 技術(shù)（多孔共聚焦）的μsurf傳感器技術(shù)。在幾秒鐘內(nèi)，獲得微觀和納米范圍內(nèi)的形貌、粗糙度和層厚度。
這個(gè)NanoFocus聚焦共焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多針孔盤、具有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD攝像機(jī)。
LED光源通過多針孔光盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面，反射光。反射光通過MPD的針孔減小到聚焦的部分，后落在CCD相機(jī)上。
傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié)。相反，在共焦圖像中，通過多針孔盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦）。只有來自焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高分辨率。
每個(gè)共聚焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片。在不同焦距處捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像堆棧，由共聚焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動(dòng)使物鏡垂直位移來實(shí)現(xiàn)。通常在幾秒鐘內(nèi)捕獲200-400個(gè)共聚焦圖像，之后軟件從共聚焦圖像堆棧重建的三維高度圖像。
μsurf技術(shù)在微米和納米范圍的技術(shù)表面表征方面具有許多優(yōu)點(diǎn)。
與SEM（X，Y）相反，μSURF提供真實(shí)三維坐標(biāo)（x，y，z）中的數(shù)據(jù)。只有這些定量數(shù)據(jù)才能夠?qū)θS表面參數(shù)進(jìn)行的分析，從而傳遞關(guān)于表面紋理的更大范圍的信息。μSurf系統(tǒng)的測量不需要以前的樣品制備。
在許多工業(yè)部門中，標(biāo)準(zhǔn)的測量方法是觸覺掃描。美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究所（NIST）進(jìn)行的一項(xiàng)獨(dú)立的第三方研究表明，μsurf技術(shù)與觸覺系統(tǒng)的相關(guān)性高（99%）。此外，要檢查的材料的硬度的差異是不相關(guān)的，因?yàn)橄到y(tǒng)在不接觸和破壞表面的情況下工作。
μsurf一目了然特點(diǎn)可以概括為以下幾點(diǎn)：
1.NanoFocus擁有自己的*的技術(shù)和發(fā)展前景
2.其快速的數(shù)據(jù)采集
3.在納米范圍內(nèi)仍然擁有超高的分辨率
4.全面的測量數(shù)據(jù)并且保證度
5.無樣品制備
6.其非接觸性測量也很好保證產(chǎn)品表面不被破壞。
7.獲得真實(shí)三維測量數(shù)據(jù)
8.獨(dú)立于材料特性如顏色、可靠性或硬度
9.測量符合DIN