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共聚焦顯微鏡為什么選用LED光源?LED相比較激光優(yōu)勢有哪些

閱讀:3583        發(fā)布時間:2019-5-31

基于NanoFocus 技術(shù)(多孔共聚焦)的μsurf傳感器技術(shù)。在幾秒鐘內(nèi),獲得微觀和納米范圍內(nèi)的形貌、粗糙度和層厚度。
這個NanoFocus聚焦共焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多針孔盤、具有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD攝像機(jī)。
LED光源通過多針孔光盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面,反射光。反射光通過MPD的針孔減小到聚焦的部分,后落在CCD相機(jī)上。
傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié)。相反,在共焦圖像中,通過多針孔盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)(未聚焦)。只有來自焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高分辨率。
每個共聚焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片。在不同焦距處捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像堆棧,由共聚焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動使物鏡垂直位移來實現(xiàn)。通常在幾秒鐘內(nèi)捕獲200-400個共聚焦圖像,之后軟件從共聚焦圖像堆棧重建的三維高度圖像。
μsurf技術(shù)在微米和納米范圍的技術(shù)表面表征方面具有許多優(yōu)點。
與SEM(X,Y)相反,μSURF提供真實三維坐標(biāo)(x,y,z)中的數(shù)據(jù)。只有這些定量數(shù)據(jù)才能夠?qū)θS表面參數(shù)進(jìn)行的分析,從而傳遞關(guān)于表面紋理的更大范圍的信息。μSurf系統(tǒng)的測量不需要以前的樣品制備。
在許多工業(yè)部門中,標(biāo)準(zhǔn)的測量方法是觸覺掃描。美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究所(NIST)進(jìn)行的一項獨立的第三方研究表明,μsurf技術(shù)與觸覺系統(tǒng)的相關(guān)性高(99%)。此外,要檢查的材料的硬度的差異是不相關(guān)的,因為系統(tǒng)在不接觸和破壞表面的情況下工作。
μsurf一目了然特點可以概括為以下幾點:
1.NanoFocus擁有自己的*的技術(shù)和發(fā)展前景
2.其快速的數(shù)據(jù)采集
3.在納米范圍內(nèi)仍然擁有超高的分辨率
4.全面的測量數(shù)據(jù)并且保證度
5.無樣品制備
6.其非接觸性測量也很好保證產(chǎn)品表面不被破壞。
7.獲得真實三維測量數(shù)據(jù)
8.獨立于材料特性如顏色、可靠性或硬度
9.測量符合DIN

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