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3D激光顯微鏡廣泛應(yīng)用案例
目前，檢測表面粗糙度比較常用的方法是接觸式和跟非接觸式測量等，而其中接觸式因其測量迅速方便、測量精度高、使用成本較低等良好特性而得到廣泛使用。
非接觸式的光點(diǎn)相當(dāng)于接觸式的觸針。由于非接觸式與接觸式不同，不會直接接觸目標(biāo)物，因此不會有觸針磨損或目標(biāo)物損傷的缺點(diǎn)。但是，為了正確測量目標(biāo)物的形狀，光點(diǎn)直徑的大小非常重要。光點(diǎn)直徑越大，越只能獲取比實(shí)際形狀更加平滑的數(shù)據(jù)。
當(dāng)采用觸針法對加工工件表面進(jìn)行表面粗糙度測量時，探測頭上的觸針在被測表面輕輕劃過。由于存在輪廓峰谷的起伏，所以觸針將在垂直與被測輪廓表面方向上產(chǎn)生上下起伏的移動。這種移動量雖然非常微細(xì)，但足以被敏感的電子裝置捕捉并加以放大。放大之后的信息則通過指示表或其他輸出裝置以數(shù)據(jù)或圖形的方式輸出。這就是觸針式表面粗糙度測量儀的工作方式。其中，按其傳感器類型可以分：電感式、壓電式、光電式等；按其指示方式又可分為：積分式、連續(xù)移動式。
觸針式表面粗糙度測量儀由傳感器、驅(qū)動箱、指示表、記錄器和工作臺等主要部件組織。其中電感傳感器的工作原理為：傳感器測桿一端裝有觸針（由于金剛石耐磨、硬度高的特點(diǎn)，觸針多選用金剛石材質(zhì)），觸針的要求曲率半徑很小，以便于全面的反映表面情況。
測量時將觸針搭在加工工件的被測表面上，并使針尖與被測面保持垂直接觸，利用驅(qū)動裝置以緩慢、均勻的速度拖動，當(dāng)觸針在被測表面拖動滑行時，將隨著被測面的輪廓峰谷表面作反向上下運(yùn)動，并將運(yùn)動幅度放大，從而使包圍在磁芯外面的兩個差動電感線圈的電感量發(fā)生變化，并將觸針微笑的垂直位移轉(zhuǎn)化為同步成比例的電信號。
不會損傷樣品表面，與接觸式比較，可測量細(xì)微凹凸，測量時間短，可與觀測圖像同時比較形狀（顯微鏡類型），可獲取媲美SEM 的高分辨率、超深度圖像（彩色3D 激光顯微鏡）。