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白光干涉三維形貌儀精密表面輪廓測量儀器
閱讀：2191 發(fā)布時間：2019-8-2
白光干涉儀目前在3D檢測領(lǐng)域是精度的測量儀器之一，在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級和亞納米級的超精密加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它的儀器無法達到其加工精度要求。
白光干涉三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。
光學(xué)干涉測量法作為一種重要的非接觸表面三維形貌測量手段，一直是國內(nèi)外高精度測量領(lǐng)域的研究熱點?；诟缮嬖淼墓鈱W(xué)表面三維形貌檢測方法發(fā)展很快，其精度和測量范圍都達到了很高的指標?；谝葡喔缮嫠惴ǎ≒SI）的光學(xué)表面形貌檢測儀多以激光為光源，精度可優(yōu)于1nm，測量范圍在微米量級。在市場需求的推動下，用于工業(yè)生產(chǎn)的白光干涉儀干涉儀向小型化發(fā)展，并且對儀器的抗干擾能力、操作簡便性、測量精度、橫向與縱向測量范圍都提出了更高的要求。因此本作品作為一種成本低、功能強的型表面微觀形貌檢測儀器，具有很好的發(fā)展前景。