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三維形貌輪廓儀是什么,它有哪些神秘面紗?

閱讀:1192        發(fā)布時(shí)間:2021-5-18
  三維形貌輪廓儀能夠在同一測(cè)試平臺(tái)上運(yùn)行多種測(cè)試,產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對(duì)樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測(cè),模式切換可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。
  
  儀器利用白光點(diǎn)光源,光線經(jīng)過透鏡后產(chǎn)生色差,不同波長(zhǎng)的光分開后入射到被測(cè)樣品上。位于白光光源的對(duì)稱位置上的超靈敏探測(cè)器系統(tǒng)用來接收經(jīng)被測(cè)點(diǎn)漫反射后的光。根據(jù)準(zhǔn)共聚焦原理,探測(cè)器系統(tǒng)只能接收到被測(cè)物體上單點(diǎn)反射回來的特定波長(zhǎng)的光,從而得到這個(gè)點(diǎn)距離透鏡的垂直距離。
  
  然后通過點(diǎn)掃描的方式可得到一條線上的坐標(biāo),即X-Z坐標(biāo)后以S路徑獲得物體每個(gè)點(diǎn)的三維X-Y-Z坐標(biāo)。后將采集的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)交給儀器自帶的三維處理軟件進(jìn)行各種表面參數(shù)的分析。
  
  三維形貌輪廓儀使用的注意事項(xiàng):
  
  1、測(cè)量結(jié)束,退出系統(tǒng),關(guān)閉電腦,切斷電源;
  
  2、測(cè)量完畢后用棉花拈汽油清洗工作臺(tái)及夾具,并涂油防銹;
  
  3、儀器配件要注意防銹;
  
  4、要定期(具體周期視環(huán)境定)清潔氣浮導(dǎo)軌,以保證導(dǎo)軌的精度。
  
  三維形貌輪廓儀可測(cè)量各種機(jī)械零件的素線輪廓形狀參數(shù),角度處理(坐標(biāo)角度,與Y坐標(biāo)的夾角,兩直線夾角)、圓處理(圓弧半徑,圓心到圓心距離,圓心到直線的距離,交點(diǎn)到圓心的距離,直線到切點(diǎn)的距離)、輪廓度、水平距離等形狀參數(shù)。

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