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產(chǎn)品簡介
通用3D形貌儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進行不同模式的實驗檢測，模式切換可實現(xiàn)全自動化。多項技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。
詳細介紹
共焦
■ 快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)盤共焦技術(shù)。
■ 使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150X) 3D全視野3D鏡頭，用以表征坡度分析 (zui大斜率<干涉測量>: 72o vs 44o) 。
■ 具有光學形貌上zui高的橫向分辨率，附有5百萬自動分辨率的CCD相機， 空間下樣可調(diào)至0.05um，是表面特征以及形貌的測量的*配置。
■ 在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制（0.1%- *)
■ 應用于透明層/薄膜。
■ 兼容亮視野&暗視野; 光學DIC。
■ 長距離遠攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。
■ *的穩(wěn)定性。
干涉儀（WLI）
■ Z向高分辨率, 亞納米級
■ 兼具相移（PSI）以及垂直掃描（VSI）模式
■ Z向分辨率可獨立放大
■ 四色CCD 相機，用戶可自選的LED光源 (白光，綠光，藍光和紅光)
■ 高達五百萬像素的可自動分辨的CCD 相機
■ 快速處理器在業(yè)界位于水平
■ 自動對焦
原子力顯微鏡
■ 探針掃描可用于大型模板
■ X, Y, Z三向可達原子級分辨率
■ 大壓電探針掃描XY: 達到 110x110um
變焦
■ 粗糙度表面分析
■ 快速分析