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產(chǎn)品簡介
白光干涉形貌儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進行不同模式的實驗檢測，模式切換可實現(xiàn)全自動化。多項技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。
詳細介紹
白光干涉儀技術(shù)參數(shù)
項 目 簡 述 | 參數(shù)說明 |
白光干涉形貌儀 | Z向高分辨率, 亞納米級 兼具相移（PSI）以及垂直掃描（VSI）模式 Z向分辨率可獨立放大 四色CCD 相機，用戶可自選的LED光源 (白光，綠光，藍光和紅光) 高達五百萬像素的可自動分辨的CCD 相機 快速處理器在業(yè)界位于水平 自動對焦
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