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HEIDENHAIN海德漢光柵尺LIP471R工作原理
最近更新時(shí)間：2022-10-12
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德國(guó)HEIDENHAIN光柵尺工作原理：常見(jiàn)光柵的工作原理都是根據(jù)物理上莫爾條紋的形成原理進(jìn)行工作的。當(dāng)使指示光柵上的線(xiàn)紋與標(biāo)尺光柵上的線(xiàn)紋成一角度來(lái)放置兩光柵尺時(shí)，必然會(huì)造成兩光柵尺上的線(xiàn)紋互相交叉。在光源的照射下，交叉點(diǎn)近旁的小區(qū)域內(nèi)由于黑色線(xiàn)紋重疊，因而遮光面積zui小，擋光效應(yīng)zui弱，光的累積作用使得這個(gè)區(qū)域出現(xiàn)亮帶。相反，距交叉點(diǎn)較遠(yuǎn)的區(qū)域，因兩光柵尺不透明的黑色線(xiàn)紋的重疊部分變得越來(lái)越少，不透明區(qū)域面積逐漸變大，即遮光面積逐漸變大，使得擋光效應(yīng)變強(qiáng)，只有較少的光線(xiàn)能通過(guò)這個(gè)區(qū)域透過(guò)光柵，使這個(gè)區(qū)域出現(xiàn)暗帶，從而便形成了我們所見(jiàn)到的摩爾條紋。
德國(guó)HEIDENHAIN光柵尺的莫爾條紋：以透射光柵為例，當(dāng)指示光柵上的線(xiàn)紋和標(biāo)尺光柵上的線(xiàn)紋之間形成一個(gè)小角度θ，并且兩個(gè)光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí)，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱(chēng)為“莫爾條紋" （右圖所示）。嚴(yán)格地說(shuō)，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線(xiàn)紋夾角的平分線(xiàn)相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱(chēng)為莫爾條紋的寬度，以W表示。 莫爾條紋
W=ω /2* sin（θ/2）=ω /θ 。 莫爾條紋具有以下特征： ?。?）莫爾條紋的變化規(guī)律 兩片光柵相對(duì)移過(guò)一個(gè)柵距，莫爾條紋移過(guò)一個(gè)條紋距離。由于光的衍射與干涉作用，莫爾條紋的變化規(guī)律近似正（余）弦函數(shù)，變化周期數(shù)與光柵相對(duì)位移的柵距數(shù)同步。 ?。?）放大作用 在兩光柵柵線(xiàn)夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線(xiàn)角θ之間有下列關(guān)系。式中，θ的單位為rad，W的單位為mm。由于傾角很小，sinθ很小，則 W=ω /θ 若ω =0．01mm，θ=0.01rad，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍。 莫爾條紋計(jì)算
（3）均化誤差作用 莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線(xiàn)的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線(xiàn)紋，這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。