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AMC在線監(jiān)測(cè)離子遷移譜

EDK 4500

AMC在線監(jiān)測(cè)離子遷移譜技術(shù)具有靈敏度高（ppb范圍）、響應(yīng)速度快（毫秒范圍）、結(jié)構(gòu)緊湊、可在大氣壓下操作以及能分離異構(gòu)體等優(yōu)點(diǎn)。在這篇簡(jiǎn)短的報(bào)告中，我們展示了使用IMS檢測(cè)氯化氫（HCl）和氟化氫（HF）的靈敏度和快速響應(yīng)。

關(guān)鍵詞：離子遷移譜IMS，總酸銨根監(jiān)測(cè)，磷酸根檢測(cè)，AMC在線監(jiān)測(cè)，痕量氯化氫氟化氫監(jiān)測(cè)

HCl和HF是摩爾質(zhì)量為36.46 g/mol（HCl）和20 g/mol（HF）的小分子。鹽酸和氫氟酸是醫(yī)藥、高分子、石油化工等工業(yè)中的重要化合物。這兩種化學(xué)物質(zhì)在半導(dǎo)體工業(yè)中也很重要。在許多半導(dǎo)體應(yīng)用中，需要在低ppb水平下監(jiān)測(cè)HCl和HF的存在。