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大氣等離子清洗機通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性"組分包括：離子、電子、原子、自由活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)進行氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質(zhì)，從而優(yōu)化材料表面性能，實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。

一、等離子體介紹

1、等離子清洗機的產(chǎn)品原理

通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性"組分包括：離子、電子、原子、自由活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)進行氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質(zhì)，從而優(yōu)化材料表面性能，實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。

2、行業(yè)應用

二、產(chǎn)品介紹

1、等離子清洗機的產(chǎn)品概述

該大氣等離子清洗機(Plasma cleaner)是國內(nèi)的“數(shù)字化大氣等離子清洗機"，一款擁有強大的“CPU"的大等離子清洗機。采用穩(wěn)定性高的移相全橋軟開關(guān)電路，擁有數(shù)字通信及模擬通信兩種數(shù)據(jù)傳輸方式，通過ARM芯片強大的數(shù)據(jù)處理功能，實現(xiàn)設備數(shù)字化控制，客戶產(chǎn)線，可達到中央控制系統(tǒng)統(tǒng)一監(jiān)控，使清洗效果更穩(wěn)定、更持久，抗干擾性能增強，減低故障率，控制維護成本，提高產(chǎn)能，有效減低生產(chǎn)成本。

2、產(chǎn)品優(yōu)勢

（1）軍工級硬件設計，使用環(huán)境溫度范圍可達到-25℃-50℃，適應不同的嚴苛場景，MTBF時間可達到≥190Khrs MIL-HDBK-217F(25℃)；

（2）數(shù)字化控制，顯示屏顯示，實時監(jiān)控，抗干擾強；

（3）采用TI品牌的移相全橋軟開關(guān)電路和PFC功率因素校正，相對模擬硬開關(guān)電路效率可提高10%以上，響應時間小于0.1s，抗干擾性強；

（4）搭載ST品牌的ARM芯片，人機交互簡單明了，強大的遠程調(diào)試通訊功能，無縫對接任意的應用場景，自主研發(fā)的軟件對實時采集的數(shù)據(jù)進行智能判斷并協(xié)調(diào)工作，可實現(xiàn)功率自匹配，穩(wěn)定無變化；

（5）支持RS-485/232數(shù)字通信接口和模擬通信接口，強大的遠程通信功能；

（6）具有6種檢測功能：氣壓檢測、主板溫度檢測、變壓器弧壓檢測、變壓器初級峰值電流檢測，電網(wǎng)電流檢測，噴槍轉(zhuǎn)速檢測；

（7）具有十余種故障報警功能，故障排查定位時間縮短80%以上；

（8）等離子發(fā)生器同時支持射流噴槍、旋轉(zhuǎn)噴槍及線性寬幅，一鍵設置，隨時變換；

（9）具有過溫防護、過載防護、短路、斷路、漏電防護、各種誤操作保護等防護功能。

3、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)

SPA-5600大氣等離子清洗機結(jié)構(gòu)：高壓數(shù)字電源發(fā)生器、等離子發(fā)生裝置噴槍與控制系統(tǒng)組成。

（1）高壓數(shù)字電源發(fā)生器：等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵，SPA-5600大氣等離子清洗機采用中頻電源進行激勵，數(shù)字化控制方式，可實現(xiàn)功率自匹配，保證功率的穩(wěn)定輸出，且輸出精度高，輸出功率不受氣壓波動，市網(wǎng)電壓波動，噴槍電極老化等影響。參數(shù)需根據(jù)樣品實際情況進行調(diào)節(jié)，以便達到處理效果。

（2）等離子發(fā)生裝置噴槍：SPA-5600大氣等離子清洗機搭配直噴噴槍：主要處理小面積、形狀較復雜的材料，處理面積范圍2-15mm，可與原有的生產(chǎn)流水線搭配，實現(xiàn)全自動在線生產(chǎn)，節(jié)約人力成本。

（3）控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)作用在于控制SPA-5600大氣等離子清洗機的運行，以及整體系統(tǒng)的保護。

4、產(chǎn)品規(guī)格

大氣等離子主機
設備尺寸	L463W395H159mm
重量	10KG
需求電源	電源：單相AC220V，50/60Hz， 10A，接地電阻小于4Ω
等離子發(fā)生器規(guī)格
電源功率	600-950W（依據(jù)負載情況設定范圍）
電源頻率	50/60Hz
遠程通信方式	模擬通信接口
控制方式	本地控制與遠程控制
等離子槍頭規(guī)格
處理寬度	20-90mm
槍頭尺寸	L342W85H156mm
重量	6.5KG
槍頭可調(diào)節(jié)高度	5-15mm
氣壓范圍	標準0.2MPA，0.08~0.25MPA可調(diào)
工藝氣體
使用氣體	CDA或者N2
檢測與報警
檢測	氣壓檢測、變壓器弧壓檢測、變壓器初級峰值電流檢測、電網(wǎng)電流檢測
報警	短路、斷路、氣壓不足警報、氣體壓力過高警報、主板錯誤警報

5、設備尺寸圖紙

（1）旋轉(zhuǎn)槍頭尺寸圖

（2）電源尺寸圖

三、規(guī)格要求

1、廠務規(guī)格要求

廠務規(guī)格要求
需求電源	電源：單相AC220V，50/60Hz， 10A，接地電阻小于4Ω
廠務排氣	流量：5m3/min
廠務排氣	材質(zhì)：耐腐蝕材質(zhì)
廠務壓縮空氣要求	管徑：8mm
	材質(zhì)：PU 管
	壓力：0.4-0.6MPa
	氣源質(zhì)量應該滿足：固體顆粒粒徑<=0.1um,含油量<=0.01mg/m3，壓力露點-40°C以下

2、配置清單

配置清單
序號	名稱	型號和規(guī)格	數(shù)量	備注
1	主機發(fā)生器	SPA-2800	1	臺
2	常規(guī)槍頭	按客戶要求配備	1	臺
3	普通噴嘴	按客戶要求配備	1	PCS
4	金屬波紋管長	線長3.5M	1	條
5	送貨單	紙質(zhì)文檔	1	份
6	DB15接頭	線長20cm	1	條
7	產(chǎn)品說明書	紙質(zhì)文檔	1	份
8	產(chǎn)品合格證	紙質(zhì)文檔	1	份
9	產(chǎn)品保修卡	紙質(zhì)文檔	1	份
10	產(chǎn)品質(zhì)檢報告	紙質(zhì)文檔	1	份

3、驗收標準

驗收標準
項目	NO.	內(nèi)容
硬件驗收	1	設備清單驗收
	2	出廠報告
	3	說明書
性能驗收	1	試用白片玻璃基板進行處理，線速度 4M/min 以下，處理后的接觸角平均 10°以下測定時所用水滴角測量儀，液體為純水測試結(jié)果鑒定：白片玻璃處理前水滴角 30°以下，等離子處理后 5分鐘內(nèi)測試水滴角，要求 10°以下。
穩(wěn)定性測試	1	連續(xù) 1 小時等離子噴射測試
穩(wěn)定性測試	2	試片水滴角測試
驗收日期	1	設備交付后 2個月內(nèi)必須完成驗收

4、損耗清單

損耗清單
序號	名稱	型號和規(guī)格	數(shù)量	壽命時間
1	噴嘴	/	1	2300H
2	電極	/	1	1800H
3	皮帶	/	1	4800H
4	碳刷	/	1	6000H

注：耗材的使用壽命時間與現(xiàn)場的使用條件有關(guān)系，以上壽命時間僅供參考

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