隨著電氣電子設備的小型化和多功能化，儀器的零部件也不斷微型化，因此超小型高性能的半導體零部件和傳感器等光學元件被廣泛應用。在微型化設備和零部件中，微米級的微小異物可能會導致儀器發(fā)生運行故障。因此為了防止此類問題的發(fā)生，查明異物來源極其重要。

島津公司的異物自動分析系統(tǒng)（紅外顯微鏡）AIM-9000 采用將微小部分作為測定目標的光學設計，可以在短時間內獲得微米級異物的清晰光譜。本文向您介紹使用本系統(tǒng)對光學元件表面附著的約10μm微小異物進行測定的示例。

島津異物自動分析系統(tǒng)（IRTracer-100 和紅外顯微鏡AIM-9000）

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