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BTL7-P711-M0700-B-S32巴魯夫位移分析方法

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BTL7-P711-M0700-B-S32巴魯夫位移分析方法

耐高溫

為縮短抽真空時間和獲得較高真空度,真

空腔需要加熱到100 °C甚至更高的溫度。

因此,附著在編碼器外殼上的水分子將被

氣化并被快速抽除。為此,真空應(yīng)用的編

碼器必須能承受100 °C甚至更高的溫度。

超凈

真空腔中的編碼器必須經(jīng)過特別清潔處理,

保持高清潔度。大多數(shù)潤滑脂和潤滑油,

甚至指印,在真空中都滲出氣體,因此都

不允許存在。否則,可能逸出細(xì)小顆粒或

灰塵,例如造成被檢查的微電子電路板損

壞或影響實驗結(jié)果。為此,在編碼器生產(chǎn)

過程中和包裝過程中,全面滿足超凈的特

殊要求。

海德漢在超凈車間中生產(chǎn)真空應(yīng)用的編碼

器。包裝也采用特別的設(shè)計。編碼器采用

雙重包裝,密封前在包裝內(nèi)充入氮氣。

電氣連接

海德漢編碼器的接頭能方便地穿入真空腔

外殼。

LIP和LIF系列直線光柵尺需要接口電子電路

將信號轉(zhuǎn)換成1•VPP。該接口在D-sub接頭

內(nèi)。接口電子電路直接安裝在高真空應(yīng)用

的設(shè)備上。對于超高真空應(yīng)用,接口電子

電路必須在真空腔外。因此,高真空應(yīng)用

的LIP和LIF提供兩種版本的電纜。讀數(shù)頭與

接口電子電路間的電纜長度可達(dá)3米。

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