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微納加工平臺-圖形發(fā)生: Hybrid Bonding 混合鍵合聚焦離子束加工電子束曝光納米壓印光刻/鍵合系統(tǒng)

薄膜制備: 原子層沉積系統(tǒng)ALD 磁控濺射薄膜沉積CVD 橢偏儀

材料刻蝕

表征檢測: 原子力顯微鏡掃描電子顯微鏡掃描探針顯微鏡三維光學輪廓（白光干涉）探針輪廓儀（臺階儀）納米壓痕（硬度計） X光檢測，X射線衍射儀檢測

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