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TMC Stage-Base混合壓電電機(jī)主動隔振系統(tǒng)

TMC繼續(xù)在*技術(shù)的基礎(chǔ)上開發(fā)新的解決方案，以滿足半導(dǎo)體工具對其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導(dǎo)體工具而設(shè)計(jì)的主要消振系統(tǒng)。這些工具不但需要極其有效的消振性能，它們還要求由平臺引起的有效載荷運(yùn)動能夠非?？焖俚胤€(wěn)定，以最大限度地提高工具吞吐量。通過增加帶有前饋控制的VCM，可以縮短穩(wěn)定時間，進(jìn)一步提高吞吐量，從而為移動平臺應(yīng)用提供zui先jin的主動振動和運(yùn)動消除系統(tǒng)。

優(yōu)點(diǎn)：

Stage-Base 450采用了下一代主動硬安裝壓電消振集成音圈技術(shù)。只有TMC可以提供這種特別的高級低頻消振串行型技術(shù)，通過使用音圈電機(jī)（VCM），實(shí)現(xiàn)了主動移動平臺運(yùn)動消除。

Stage-Base 450下一代主動控制系統(tǒng)采用TMC的STACIS技術(shù)，使用壓電致動器和串行式架構(gòu)中的剛性懸架實(shí)現(xiàn)了zhuo越的消振。這實(shí)現(xiàn)了始于0.6 Hz的業(yè)內(nèi)最佳地面隔振，響應(yīng)于平臺力的初始偏轉(zhuǎn)明顯更小。

規(guī)格：

采用特別的STACIS®技術(shù)

采用高力、加長行程的壓電致動器

有效載荷的位置可重復(fù)性在微米以內(nèi)

框架安裝設(shè)計(jì)

6個主動自由度

可選的VCM前饋和/或反饋

始于0.6 Hz的主動隔振

響應(yīng)平臺運(yùn)動的快速穩(wěn)定時間

無軟空氣懸架

通過USB 2.0實(shí)現(xiàn)基于PC的圖形用戶界面（GUI）的高速數(shù)字控制器

簡單、堅(jiān)固且經(jīng)濟(jì)高效

TMC Stage-Base混合壓電電機(jī)主動隔振系統(tǒng)