電子無塵室/潔凈室檢測

電子無塵室/潔凈室檢測項目和標(biāo)準(zhǔn)

檢測方法 

1.風(fēng)量或風(fēng)速

1）對于單向流潔凈室,應(yīng)采用截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量,并應(yīng)取離高效過濾器300mm垂直于氣流的截面作為測試平面。應(yīng)將測試平面分成相等的柵格,每個柵格尺寸應(yīng)為600mm×600mm或末端空氣過濾器尺寸,測點應(yīng)在柵格中或不應(yīng)少于3點。每一點的測試時間不應(yīng)少于10s。應(yīng)記錄平均值、大值和小值,并應(yīng)以算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。

2）對于非單向流潔凈室,每一點的測試時間不應(yīng)少于10s。

3）在每個末端空氣過濾器或散流器處,應(yīng)采用風(fēng)口法、風(fēng)管法、風(fēng)罩法等測量送風(fēng)風(fēng)速確定送風(fēng)量,每個測試位置的測點數(shù)不應(yīng)少于3點。 

2.靜壓差

1）靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時進(jìn)行。

2）儀器宜采用各種型式的微壓計,儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。

3）潔凈廠房有多個潔凈室(區(qū))時,應(yīng)從里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始,并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測。

3.高效過濾器檢漏

1）儀器應(yīng)使用采樣量大于1l/min的光學(xué)粒子計數(shù)器。

2）應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1m(0.5gm)粒子,粒子濃度應(yīng)大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處,并應(yīng)以5~20mm/s速度移動。應(yīng)檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。 

4.懸浮粒子數(shù)-塵埃粒子計數(shù)器

1）應(yīng)使用采樣量大于1l/min光學(xué)粒子計數(shù)器,應(yīng)根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應(yīng)有有效的標(biāo)定合格證書。

2）少采樣點應(yīng)按下式計算:

NL=A0.5

式中NL---------少采樣點

A-----------潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(m2)。

采樣點應(yīng)均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個面積內(nèi),并應(yīng)位于工作區(qū)的高度。

3）每一采樣點的每次采樣量應(yīng)按下式確定:

Vs=（20/Cn，m）x100

式中Vs------每個采樣點的每次采樣量,以l表示,當(dāng)V很大時,可使用順序采樣法。每個采樣點的小采樣時間為1min,采樣量應(yīng)至少為2l

Cn.m------被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值(p/m3);

20------在規(guī)定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時,可測到的粒子顆數(shù)(顆)。

4）當(dāng)潔凈室(區(qū))僅有一個采樣點時,則在該點應(yīng)至少采樣3次

5.氣流流型

◆氣流流型的檢測,宜采用氣流目測法。

◆氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注入法,并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。

◆示蹤線法應(yīng)為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等,直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。

◆示蹤劑注入法,可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,在高強(qiáng)度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。

◆應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目測,本法一般是與示蹤結(jié)合,將在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。

◆氣流目測的測點位置、儀器等,應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具條件洽商確定。   

6.溫度、相對濕度

1）溫度、相對濕度的檢測應(yīng)在潔凈室(區(qū))內(nèi)氣流分布均勻狀態(tài)測試,并應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后安排進(jìn)行。溫度、相對濕度檢測應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)運(yùn)轉(zhuǎn),并應(yīng)至少穩(wěn)定運(yùn)行1.0h后運(yùn)行。

2）相對濕度檢測應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積網(wǎng)格,每格大面積應(yīng)為100m2,應(yīng)每格一個測點,但每個房間不應(yīng)少于2個測點。

3）檢測用探測器應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)的工作高度,且距潔凈室(區(qū))的吊頂、墻和地面不應(yīng)少于300mm。并應(yīng)考量潔凈室(區(qū))內(nèi)可能存在的熱源的影響。

4）檢測時間應(yīng)至少1.0h,并應(yīng)至少6min進(jìn)行1次(30s)讀數(shù),記錄。

7.噪聲

1）潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級計。

2）潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測點應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1~1.5m,距墻應(yīng)大于3m;檢測點的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分,宜每100m2設(shè)一檢測點   

8.照度

1）潔凈室(區(qū))內(nèi)照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。

2）照度檢測應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室(區(qū))照度檢測不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。

3）照度檢測點應(yīng)設(shè)在工作高度,宜距地面0.85m,應(yīng)每25m2設(shè)一個測點。

9.自凈時間

1）自凈時間檢測,宜用于非單向流潔凈室。

2）自凈時間的檢測,宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn),并宜以粒子計數(shù)器進(jìn)行檢測,同時應(yīng)符合下列要求:

◆以大氣塵為基準(zhǔn)時,則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時間在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時,測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開機(jī),定時讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次),直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài),記錄下所需的時間(t)。

◆以人工塵源為基準(zhǔn)時,應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,發(fā)煙1~2min后停止,等待1min,測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開機(jī),方法同上。

◆由初始濃度(N)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度(N)、實際換氣次數(shù)(n),可得到計算自凈時間(t0),與實測自凈時間(t)進(jìn)行對比如果t≤1.2t0,為合格。

◆自凈時間檢測方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應(yīng)洽商確定。

10.密閉性檢測

1）密閉性檢測或稱抑制滲漏測試,是測定潔凈室(區(qū))有無受污染的空氣從周圍具有相同或不相同靜壓的較低潔凈度等級的潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))侵入。本檢測一般用于ISO1~5級潔凈室(區(qū))。

2）采用粒子計數(shù)器法檢測潔凈室(區(qū))的密閉性,檢測時應(yīng)先測量緊靠被測圍護(hù)結(jié)構(gòu)表面外部的懸浮粒子濃度,一般此濃度應(yīng)比潔凈室(區(qū))內(nèi)濃度大104,并大于等于3.5×106個/m3待測粒徑的粒子。

3）潔凈室(區(qū))的施工接縫,包括對墻板、吊頂?shù)慕涌p和管線、燈具等的接縫的滲漏檢測，應(yīng)在被測部位的50~100mm處掃描,其掃描速度為50mm/s。

潔凈室敞開門處的滲漏檢測,應(yīng)在距離門0.3~3.0m處測定潔凈室內(nèi)的懸浮粒子濃度。記錄并報告比測得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數(shù)和位置。

11.懸浮微生物的采樣

1）采用無源采樣裝置,如培養(yǎng)皿。采用有源采樣裝置,如撞擊采樣器、離心采樣器、過濾采樣器。

2）空氣潔凈環(huán)境中懸浮微生物的靜態(tài)或空態(tài)檢測前,應(yīng)對各類表面進(jìn)行擦拭消毒,但不得對室內(nèi)空氣進(jìn)行熏蒸、噴灑之類的消毒。動態(tài)檢測均不得對表面和空氣進(jìn)行消毒。層包裝保護(hù)培養(yǎng)皿,以防污染。當(dāng)潔凈度很高，或預(yù)期含菌濃度可能很低時，采樣量應(yīng)大于小采樣量很多，以滿足減少計數(shù)誤差的要求。