Evident向基于顯微鏡的成像系統(tǒng)制造商供應(yīng)超多規(guī)格的物鏡以及其他光學(xué)部件，為設(shè)備和儀器設(shè)計者提供支持。這些組件能幫助工程師們輕松有效地設(shè)計高質(zhì)量的光學(xué)檢測設(shè)備。
此類設(shè)計方案的一個重要組成部分是主動式自動對焦技術(shù)。當(dāng)該技術(shù)與顯微鏡的電動Z軸——機(jī)械裝置、照明系統(tǒng)、物鏡和/或數(shù)碼相機(jī)結(jié)合使用時，便可實現(xiàn)自動對焦。這些裝置使用主動式方法對焦樣本，讓光學(xué)檢測系統(tǒng)設(shè)計受益良多。
這篇文章將深入探討主動式自動對焦方法——了解它是什么，比較它與其他方法的優(yōu)劣，并探究它對于光學(xué)檢測設(shè)備設(shè)計（如半導(dǎo)體檢測）的主要優(yōu)勢。
顯微鏡的自動對焦方法對比：主動式與被動式
圖2. 半導(dǎo)體樣本聚焦不穩(wěn)定的原因：(左）焦點(diǎn)位置的變化和（右）階梯邊緣的散射
為了解決這些問題，我們開發(fā)了一種使用多個焦點(diǎn)檢測點(diǎn)的主動式自動對焦系統(tǒng)（圖3，右）。我們還增添了一個功能，通過移動自動對焦光學(xué)系統(tǒng)的中繼鏡的光軸，將焦點(diǎn)位置偏移到所需的觀察位置。這就消除了焦點(diǎn)不穩(wěn)定的問題（圖4和圖5）。
圖3. 樣本表面對焦檢測點(diǎn)對比：（左）單點(diǎn)自動對焦系統(tǒng)，（右）多點(diǎn)自動對焦系統(tǒng)
圖4. 焦點(diǎn)位置偏移功能
(a) 在單點(diǎn)系統(tǒng)中，將樣本移到一側(cè)會移動焦點(diǎn)位置
(b) 在多點(diǎn)系統(tǒng)中，將同一樣本移到一側(cè)不會改變焦點(diǎn)位置
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