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E+E壓力傳感器的溫度特性及其校驗(yàn)系統(tǒng)
E+E壓力傳感器性能易受溫度變化的影響,從而增加了測(cè)量結(jié)果的誤差。設(shè)計(jì)了一種變溫E+E壓力傳感器校驗(yàn)系統(tǒng),能夠在-80℃(環(huán)境溫度、0-0.8MPa壓力范圍內(nèi)對(duì)E+E壓力傳感器進(jìn)行校驗(yàn)。

E+E壓力傳感器的溫度特性及其校驗(yàn)系統(tǒng)
E+E壓力傳感器是無線測(cè)斜儀中的關(guān)鍵設(shè)備,工作方式是將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào),其工作性能和穩(wěn)定性直接決定無線測(cè)斜儀能否完成在定向井的施工任務(wù)E+E壓力傳感器在吉林油田冬季現(xiàn)場(chǎng)施工環(huán)境溫度較低的情況下,出現(xiàn)了安裝困難且易損壞電纜線和出現(xiàn)冷凝鉆井液將感應(yīng)孔堵死而導(dǎo)致不傳遞信號(hào)的故障為了解決這些問題,通過對(duì)E+E壓力傳感器電纜線的分體設(shè)計(jì)和改變壓力油艙結(jié)構(gòu),來降低其故障率和安裝難度在吉林油田現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用中,改進(jìn)前平均每10口井使用一只E+E壓力傳感器,改進(jìn)后平均每12口井使用1只,平均每年能節(jié)約使用E+E壓力傳感器50只,取得較好效果。文中對(duì)一種普通E+E壓力傳感器進(jìn)行了測(cè)試,得出了不同溫度下輸出電勢(shì)隨壓力變化的關(guān)系,并歸納出了輸出電勢(shì)與輸入壓力和溫度的關(guān)系式。為了確定校驗(yàn)系統(tǒng)受傳感器發(fā)熱、系統(tǒng)漏熱等因素的影響規(guī)律,對(duì)不同條件下的溫度場(chǎng)進(jìn)行了數(shù)值模擬,得到了系統(tǒng)溫度場(chǎng)的分布規(guī)律,并確定了實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的*布置方式。針對(duì)這一問題,設(shè)計(jì)了一種變溫E+E壓力傳感器校驗(yàn)系統(tǒng),能夠在-80℃-環(huán)境溫度、0-0．8 MPa壓力范圍內(nèi)對(duì)E+E壓力傳感器進(jìn)行校驗(yàn)。文中對(duì)一種普通E+E壓力傳感器進(jìn)行了測(cè)試,得出了不同溫度下輸出電勢(shì)隨壓力變化的關(guān)系,并歸納出了輸出電勢(shì)與輸入壓力和溫度的關(guān)系式?；诠鑹鹤栊?yīng),利用微電子機(jī)械系統(tǒng)()技術(shù),研制了一種可用于多種領(lǐng)域的高溫絕壓E+E壓力傳感器。為了達(dá)到耐高溫的目標(biāo),傳感器芯片采用絕緣體上硅(SOI)硅片加工,并利用有限元軟件ANSYS對(duì)傳感器芯片結(jié)構(gòu)進(jìn)行了應(yīng)力仿真分析。同時(shí),對(duì)傳感器的電阻結(jié)構(gòu)、金屬布線系統(tǒng)、傳感器支撐層鍵合技術(shù)及流片工藝進(jìn)行了設(shè)計(jì),完成了芯片的加工。設(shè)計(jì)了傳感器耐高溫封裝結(jié)構(gòu),完成了傳感器的初級(jí)封裝。zui后,對(duì)常規(guī)E+E壓力傳感器及研制的高溫E+E壓力傳感器的基本性能、電阻溫度特性、漏電流溫度特性進(jìn)行了測(cè)試和對(duì)比,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明研制的高溫E+E壓力傳感器能夠耐受350℃的高溫。

E+E壓力傳感器的溫度特性及其校驗(yàn)系統(tǒng)
研究表明:變溫E+E壓力傳感器校驗(yàn)系統(tǒng)的建立,對(duì)于檢測(cè)E+E壓力傳感器的溫度特性、實(shí)現(xiàn)低溫下壓力精確地測(cè)量具有重要的應(yīng)用價(jià)值,同時(shí)對(duì)于發(fā)展和促進(jìn)我國E+E壓力傳感器的檢定技術(shù)也具有重要的實(shí)際意義。E+E壓力傳感器技術(shù)的改進(jìn)和應(yīng)用,提高其在低溫條件下工作的穩(wěn)定性和實(shí)用性,大大降低了儀器使用的成本.