技術(shù)文章 美國激光干涉儀API測(cè)量儀器信息 閱讀：149 發(fā)布時(shí)間：2025-5-12 核心優(yōu)勢(shì)優(yōu)異精度：標(biāo)準(zhǔn)款激光干涉儀檢測(cè)精度達(dá) 0.5ppm（0.5μm/m），能夠滿足眾多高精度制造場(chǎng)景；XD Laser 系列的精密型更是將精度提升至 0.2ppm（0.2μm/m），適用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)鏡片研磨等對(duì)精度要求高的行業(yè)。高效測(cè)量：以 XD Laser 6D 為例，一次安裝即可同步完成定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角等 6 項(xiàng)參數(shù)測(cè)量，相比傳統(tǒng)設(shè)備效率大幅提升 80%。例如，1 米行程機(jī)床的全面誤差檢測(cè)，傳統(tǒng)方法需要較長時(shí)間，使用 API 設(shè)備僅 3 - 4 小時(shí)便可完成。便捷操作：儀器采用緊湊設(shè)計(jì)，全套系統(tǒng)輕巧便攜。測(cè)量時(shí)無需三角架，可直接安裝在機(jī)床導(dǎo)軌上，極大簡(jiǎn)化安裝流程；集成化的干涉鏡與激光器設(shè)計(jì)，減少復(fù)雜的光路調(diào)整步驟；部分型號(hào)支持 25 米以上無線遙控測(cè)量，方便操作人員在復(fù)雜工況下靈活使用。良好環(huán)境適應(yīng)力：內(nèi)置自動(dòng)氣壓與溫度補(bǔ)償系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長和測(cè)量結(jié)果的影響；多重?cái)?shù)字濾波器有效抑制空氣波動(dòng)、溫度梯度導(dǎo)致的測(cè)量誤差，無論是恒溫實(shí)驗(yàn)室還是溫度、濕度變化較大的工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)，均可穩(wěn)定輸出可靠數(shù)據(jù)。功能豐富：API 激光干涉儀具備多樣化的測(cè)量功能，1D 型號(hào)專注定位誤差檢測(cè)；3D 型號(hào)可測(cè)量定位誤差與雙向直線度誤差；5D/6D 型號(hào)更能實(shí)現(xiàn)角度參數(shù)的全面測(cè)量。此外，XD Laser 系列還可對(duì)速度、加速度、振動(dòng)等動(dòng)態(tài)參數(shù)進(jìn)行分析，為機(jī)床性能評(píng)估提供多維度數(shù)據(jù)支持。
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