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技術文章

hellma PX5BSSGNAALD240G 技術參數

閱讀:237          發(fā)布時間:2023-8-9

Hellma材料CaF2多年來一直被用作半導體生產的光刻中的光學關鍵材料。CaF2被確立為投影和照明光學中準分子激光光學的工業(yè)標準材料。CaF2的光學特性使其能夠用于各種*應用。





應用程序

Hellma Materials CaF2由于其的光學質量和在UV、VIS和IR光譜范圍內的優(yōu)異透射率,可用于多種用途:



紅外光學

天文儀器光學

天基光學

顯微鏡光學

光譜學

紫外線光學

激光窗口

準分子激光光學

微光刻光學

優(yōu)點

Hellma Materials的Lithtec®CaF2具有的光學特性:



從深紫外到紅外的高寬帶透射率(130nm到8µm)

低折射率(nd=1.43384)

低光譜色散(vd=95.23)

Excimer激光光學器件的激光耐久性(157nm、193nm、248nm)

合格的高能粒子和輻射抗性

直徑可達420mmHellma材料CaF2多年來一直被用作半導體生產的光刻中的光學關鍵材料。CaF2被確立為投影和照明光學中準分子激光光學的工業(yè)標準材料。CaF2的光學特性使其能夠用于各種*應用。





應用程序

Hellma Materials CaF2由于其的光學質量和在UV、VIS和IR光譜范圍內的優(yōu)異透射率,可用于多種用途:

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