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開(kāi)啟式管式爐的各組成部件作用介紹

閱讀:659        發(fā)布時(shí)間:2023-1-9
   開(kāi)啟式管式爐是一種金屬熱處理工藝,利用紅外燈管加熱技術(shù)和腔體冷壁技術(shù),實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫,從而實(shí)現(xiàn)特定熱處理工藝。指的是將金屬緩慢加熱到一定溫度,保持足夠時(shí)間,然后以適宜速度冷卻,有時(shí)是自然冷卻,有時(shí)是控制速度冷卻的熱處理方法。
 
  其主要應(yīng)用領(lǐng)域是以集成電路領(lǐng)域(以硅為代表的一代半導(dǎo)體)和光電子領(lǐng)域(以砷化鎵代表的二代半導(dǎo)體)為代表的半導(dǎo)體領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工藝中,熱處理/退火是不可少的工藝,這是因?yàn)榘雽?dǎo)體器件都是為了實(shí)現(xiàn)功能化,這就意味著電信號(hào)的輸入/輸出,這些都需要金屬電極來(lái)協(xié)助完成。
 
  開(kāi)啟式管式爐是由加熱室和自動(dòng)溫度控制器組成的,下面咱們來(lái)詳細(xì)了解下:
 
  1、加熱室:由耐火材料和碳化硅、氧化鎂、氧化鋁等組成,電加熱絲為鎳鉻合金絲。外面是用鐵板做的,上面涂有皺紋漆。爐門(mén)上有一個(gè)小洞,里面嵌著透明的云母片,可以窺視爐子的情況。
 
  2、自動(dòng)溫度控制器:是電子管的高頻振蕩電路,其中儲(chǔ)能線(xiàn)圈由于耦合儲(chǔ)能裝置的適當(dāng)配合而固定在一定的振蕩頻率上。儲(chǔ)能線(xiàn)圈具有恒溫指標(biāo)和大熱電偶溫度計(jì),能清楚地指示高溫?zé)Y(jié)爐的溫度。指針上有一面小金屬旗。當(dāng)爐溫升到所需溫度時(shí),溫度指數(shù)很小。當(dāng)旗子與儲(chǔ)能線(xiàn)圈耦合時(shí),振蕩電流隨機(jī)停止,管板極性電流發(fā)生變化,使其動(dòng)作靈敏,然后控制強(qiáng)繼電器切斷電熱絲電流,使溫度不再升高。當(dāng)溫度下降時(shí),指針的標(biāo)志與儲(chǔ)能線(xiàn)圈失去耦合,管恢復(fù)振蕩,受控強(qiáng)繼電器也恢復(fù)振蕩。同時(shí),通過(guò)電流可以恢復(fù),爐溫可以逐漸升高,這樣由于電流的不連續(xù)性,達(dá)到了自動(dòng)保持一定溫度的目的。

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