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應用領域	化工,能源,電子/電池,航空航天,汽車及零部件	介質	液體，
量程	100g/min	精度	1%
輸出信號	0-5V	通訊模式	RS485
接口	1/4VCR

Horiba 微小液體質量流量器LV-F60MO流量計

量程100g/min,精度1%

暢銷型號：LV-F60PO、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MO、LV-F30MO、LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-A、LF-F30M-A、LF-F20M-A。

概要

Horiba微小液體質量流量控制器LV-F、液體質量流量計LF-F，屬于在線流量計，用于測量管路流量。

Horiba 微小液體質量流量器LV-F60MO流量計用于控制液體流量，LF-F液體質量流量控制器、LV-F液體質量流量計采用波爾貼原理冷卻液體，而非常見的熱交換方法。該技術消除了低沸點液體沸騰的風險，實現(xiàn)更低沸點液體的安全控制。

特征

通過采用數(shù)字回路，實現(xiàn)了高精度?高速響應。

可以進行微升以上的微小流量控制。

可以對低沸點液體、高粘度液體進行精密的流體控制。

超潔凈EP級

選型要求：按以下規(guī)格確認型號，并請?zhí)峁﹨?shù)：介質名稱、量程、接口尺寸。

技術參數(shù)

名稱	液體質量流量控制器
型號	LV-F20PO/LV-F20MO	LV-F30PO /LV-F30MO	LV-F40PO /LV-F40MO	LV-F50PO /LV-F50MO	LV-F60PO /LV-F60MO
全標度流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5	1/2/5	10/20	50/100
標準接頭	1/16"，1/8"卡套； 1/8"VCR			1/8"卡套，1/8"VCR	1/4"卡套，1/4"VCR
檢測控制范圍	5?100% F.S.
對象液體種類*1	可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度*2	max值. 0.01 Pa·s (10cp)
精度*3	±1% F.S.
直線性*3	±0.5% F.S.
重復性*3	±0.5% F.S.
響應精度	3秒以內(nèi)(T98)		2秒以內(nèi)(T98)
使用環(huán)境溫度*4	5?50℃(15?45℃精度的確保)
溫度影響Span	±0.1%F.S./℃　max值±1%
工作差壓值*5	0.05?0.3MPa
耐壓	1MPa
壓力損失	ー
流量設定信號	模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
流量輸出信號	模擬：0?5 VDC(min負荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
電源	+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏率	PO類型：1×10-8Pa•m3/s (He) , MO類型：5×10-12Pa•m3/s (He).
接液部材質	PO類型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA　 MO類型：SUS316L，Ni

名稱	液體質量流量計（不帶控制）
型號	LF-F20M-A	LF-F30M-A	LF-F40M-A	LF-F50M-A	LF-F60M-A
全標度流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5	1/2/5	10/20	50/100
檢測控制范圍	5?100% F.S.
對象液體種類*1	可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度*2	max值. 0.1 Pa·s (100cp)
精度*3	±1% F.S.
直線性*3	±0.5% F.S.
重復性*3	±0.5% F.S.
響應精度	3秒以內(nèi)(T98)		2秒以內(nèi)(T98)
使用環(huán)境溫度*4	5?50℃(15?45℃精度的確保)
溫度影響Span	±0.1%F.S./℃　max值±1%
工作差壓值值	max值. 5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo控制閥)
耐壓	1MPa (視為流量計)
壓力損失	max值. 500Pa
流量設定信號	模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
流量輸出信號	模擬：0?5 VDC(min負荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
驅動電源	+15 V ±5%, 200 mA；　-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規(guī)格	5×10-12Pa·m3/s (He)
接液部材質	SUS316L, Ni
標準接頭	1/16"，1/8"卡套； 1/8"VCR			1/8"卡套； 1/8"VCR	1/4"卡套， 1/4"VCR

*1：LF-F/LV-F系列質量流量控制器利用1種液體進行了流量校正(請預先確定所使用的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發(fā)生變化時，請預先進行咨詢協(xié)商。
?LV-F系列質量流量控制器如果在所測液體中含有粒子等時，請在入口端安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2：LF-F類型質量流量控制器根據(jù)流量量程，可以用于粘度值 max 0.1Pa•s。有關高粘度的液體請預先進行咨詢協(xié)商。
*3：以SEMI E56-1296為準。
*4：進行測量/控制時，如果液體溫度低于環(huán)境溫度，請把溫差控制在10℃以內(nèi)；如果液體溫度高于高于環(huán)境溫度，請把溫差控制在3℃以內(nèi)。

冷卻測量方法
Horiba微小液體質量流量控制器LV-F、液體質量流量計LF-F的流量傳感器由與毛細管接觸的電子冷卻元件（珀爾帖元件）以及幾個溫度檢測元件組成。當液體流動時，傳感器檢測對應流量的溫升（ΔT），并以流量顯示。與熱交換不同，這種冷卻方法能夠測量低沸點液體的流量。此外，該方法還能防止由于二次排放（汽化）的影響而產(chǎn)生的干擾問題，使精確的流量測量成為可能。

測量原理
Horiba微小液體質量流量控制器LV-F、液體質量流量計LF-F采用相同的測量原理。液體質量流量器LV-F60MO還配備一個壓電閥和一個內(nèi)部比較控制回路。對流量設定信號和流量輸出信號進行比較，并自動控制閥門孔徑，使兩個信號匹配以控制液體。由于采用了反饋控制系統(tǒng)，不會因外部因素而導致流量變化，因此確保了穩(wěn)定和精確的控制。

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