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1200℃開啟式單溫區(qū)旋轉(zhuǎn)管式爐，采用高純石英制作爐管。旋轉(zhuǎn)裝置為半導(dǎo)體致冷法蘭，摩擦傳動(dòng)，傾角（0~15°）任意可調(diào)。
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