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壓力傳感器的原理
壓力傳感器的種類(lèi)繁多，其性能也有較大的差異，在實(shí)際應(yīng)用中，應(yīng)根據(jù)具體的使用場(chǎng)合、條件和要求，選擇較為適用的傳感器，做到經(jīng)濟(jì)、合理。
壓力傳感器的原理：
傳感器是將各種非電量（包括物理量、化學(xué)量、生物量等）按一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成便于處理和傳輸?shù)牧硪环N物理量 （一般為電量）的裝置。傳感器一般由敏感元件、轉(zhuǎn)換元件和測(cè)量電路三部分組成，有
時(shí)還需外加輔助電源。
制造半導(dǎo)體壓力傳感器的基本原理是利用硅晶體的壓阻效應(yīng)。單晶硅材料在受到應(yīng)力作用后，其電阻率發(fā)生明顯變化，這種現(xiàn)象稱(chēng)為壓阻效應(yīng)。
壓力傳感器所用的元件材料是具有壓阻效應(yīng)的單晶硅、擴(kuò)散摻雜硅和多晶硅。根據(jù)晶體不受定向應(yīng)力時(shí)，電導(dǎo)率是同性的，只有受定向應(yīng)力時(shí)才表現(xiàn)出各向異性，由于應(yīng)力能引起能帶的變化，能谷
能量移動(dòng)，導(dǎo)致電阻率的變化，于是就有電阻的變化，從而產(chǎn)生壓阻效應(yīng)。
單晶硅效應(yīng)包括n型和p型硅壓阻效應(yīng)。選用擴(kuò)散硅目的在于在設(shè)計(jì)制造壓力傳感器時(shí)可根據(jù)不同溫度下硅擴(kuò)散層的壓阻特性選擇合適的擴(kuò)散條件，力求使壓力傳感器具有良好的性能。多晶硅在傳感
器中有廣泛的用途，可作為微結(jié)構(gòu)和填充材料、敏感材料。
壓力傳感器的應(yīng)用分類(lèi)：
壓力傳感器按用途分類(lèi)主要是壓力監(jiān)視、壓力測(cè)量和壓力控制及轉(zhuǎn)換成其他量的測(cè)量。按供電方式分為壓阻型和壓電型傳感器，前者是被動(dòng)供電的，需要有外電源。后者是傳感器自身產(chǎn)生電荷，不
需要外加電源，根據(jù)不同領(lǐng)域?qū)毫y(cè)量的精度不同分為低精度和高精度的壓力傳感器。
壓力傳感器的主要性能參數(shù)：
1.額定壓力范圍。額定壓力范圍是滿足標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定值的壓力范圍。也就是在高和低溫度之間，傳感器輸出符合規(guī)定工作特性的壓力范圍。在實(shí)際應(yīng)用時(shí)傳感器所測(cè)壓力在該范圍之內(nèi)。
2.大壓力范圍。大壓力范圍是指?jìng)鞲衅髂荛L(zhǎng)時(shí)間承受的大壓力，且不引起輸出特性性改變。特別是半導(dǎo)體壓力傳感器，為提高線性和溫度特性，一般都大幅度減小額定壓力范圍。因此，即使在額定壓力以上連續(xù)使用也不會(huì)被損壞。一般大壓力是額定壓力高值的２－３倍。
3.損壞壓力。損壞壓力是指能夠加工在傳感器上且不使傳感器元件或傳感器外殼損壞的大壓力。
4.線性度。線性度是指在工作壓力范圍內(nèi)，傳感器輸出與壓力之間直線關(guān)系的大偏離。
5.壓力遲滯。為在室溫下及工作壓力范圍內(nèi)，從小工作壓力和大工作壓力趨近某一壓力時(shí)，傳感器輸出之差。
6.溫度范圍。壓力傳感器的溫度范圍分為補(bǔ)償溫度范圍和工作溫度范圍。補(bǔ)償溫度范圍是由于施加了溫度補(bǔ)償，精度進(jìn)入額定范圍內(nèi)的溫度范圍。工作溫度范圍是保證壓力傳感器能正常工作的溫度范圍
。