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CFD系列半導(dǎo)體氣動(dòng)泵

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌IWAKI/日本易威奇

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地上海市

更新時(shí)間：2024-04-25 09:53:30瀏覽次數(shù)：203次

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CFD系列半導(dǎo)體氣動(dòng)泵
全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL/shot、精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)。

CFD系列
全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL/shot、
精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)

高分辨率

最小流量達(dá)1mL/shot，為晶圓清洗過程中所需的化學(xué)凝結(jié)控制，提供更高的準(zhǔn)確性。CFD系列能提供準(zhǔn)確流量，防止過量添加或液體浪費(fèi)。此外，防虹吸設(shè)計(jì)防止意外吸入。


耐腐蝕過流端

氟材質(zhì)口過流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能夠處理半導(dǎo)體加工所用的強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和雙氧水。針對(duì)化學(xué)腐蝕，PTFE / PFA / PP / PVC材質(zhì)外部零件和PTFE涂層螺絲能提供額外的保護(hù)。


寬廣的吐出率調(diào)節(jié)

打開底蓋可輕松在1.0-2.7ml/shot之間調(diào)節(jié)沖程長(zhǎng)度 (出廠默認(rèn)設(shè)定是1.0ml/shot)。


配備泄漏傳感器

每臺(tái)泵都配有泄漏傳感器，可實(shí)時(shí)檢測(cè)任何泄漏情況。

 

規(guī)格

最大吐出量

1 mL/shot

最大吐出壓力

0.05 MPa

最大沖程率

30 spm

主要材質(zhì)

PTFE, PFA, PCTFE

液體輸送溫度范圍

20 ~ 60 °C


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