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當(dāng)前位置：> 供求商機> PDS-105R半導(dǎo)體氣動泵
高精度
步進(jìn)電機驅(qū)動設(shè)計，重復(fù)精度達(dá)±0.3% (F.S.)。
結(jié)構(gòu)緊湊
高度260mm (舊型號達(dá)330mm)，寬度僅50mm (舊型號為60mm)。
節(jié)省光刻膠
采用高扭距步進(jìn)電機驅(qū)動，吐出穩(wěn)定，重復(fù)精度高。
無污染
優(yōu)化管膜片的設(shè)計，消除因滑動部件的磨損而產(chǎn)生顆粒的可能性，以及在盲區(qū)凝結(jié)的可能性。
節(jié)省光刻膠
規(guī)格
最大吐出量 | 5.0 mL/shot |
吐出速度 | 0.1 ~ 4.0 mL/sec |
吸入速度 | 0.1 ~ 3.0 mL/sec |
最大吐出壓力 | 0.15 MPa |
重復(fù)精度 | ±0.3 % (F.S.) 或以下 |
主要材質(zhì) | PFA, PTFE, PCTFE, Kalrezr 3 |
液體粘度范圍 | 200 mPa·s |
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