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上海富瞻環(huán)??萍加邢薰?
初級(jí)會(huì)員 | 第8年

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CFD系列半導(dǎo)體氣動(dòng)泵
  • CFD系列半導(dǎo)體氣動(dòng)泵

貨物所在地:上海上海市

更新時(shí)間:2025-04-25 21:00:08

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實(shí)驗(yàn)室設(shè)備
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半導(dǎo)體行業(yè)儀器
CFD系列半導(dǎo)體氣動(dòng)泵
全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL/shot、
精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)

CFD系列
全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL/shot、
精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)

高分辨率

最小流量達(dá)1mL/shot,為晶圓清洗過程中所需的化學(xué)凝結(jié)控制,提供更高的準(zhǔn)確性。CFD系列能提供準(zhǔn)確流量,防止過量添加或液體浪費(fèi)。此外,防虹吸設(shè)計(jì)防止意外吸入。


耐腐蝕過流端

氟材質(zhì)口過流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能夠處理半導(dǎo)體加工所用的強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和雙氧水。針對(duì)化學(xué)腐蝕,PTFE / PFA / PP / PVC材質(zhì)外部零件和PTFE涂層螺絲能提供額外的保護(hù)。


廣的吐出率調(diào)節(jié)

打開底蓋可輕松在1.0-2.7ml/shot之間調(diào)節(jié)沖程長度 (出廠默認(rèn)設(shè)定是1.0ml/shot)。


配備泄漏傳感器

每臺(tái)泵都配有泄漏傳感器,可實(shí)時(shí)檢測(cè)任何泄漏情況。

 

規(guī)格

最大吐出量

1 mL/shot

最大吐出壓力

0.05 MPa

最大沖程率

30 spm

主要材質(zhì)

PTFE, PFA, PCTFE

液體輸送溫度范圍

20 ~ 60 °C


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