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　　掃描電子顯微鏡是一款全自動、無損顯微分析系統，可針對幾乎所有無機材料和部分有機材料，迅速提供在統計學上可靠且可重復的礦物學、巖相學和冶金學數據，在采礦業(yè)，可用于礦產勘查、礦石表征和選礦工藝優(yōu)化。在石油和天然氣行業(yè)，對鉆井巖屑和巖心試樣進行顯微分析，從而降低風險并提高采收率。在煤炭行業(yè)，利用該系統自動分析煤、煤粉和煤燃燒產物，可以更好地了解煤燃燒和廢物利用情況。

　　由于高能電子與物質的相互作用，結果在試樣上產生各種信息如二次電子、背反射電子、俄歇電子、X射線、陰發(fā)光、吸收電子和透射電子等。因為從試樣中所得到各種信息的強度和分布各自同試樣表面形貌、成分、晶體取向、以及表面狀態(tài)的一些物理性質（如電性質、磁性質等）等因素有關，因此，通過接收和處理這些信息，就可以獲得表征試樣形貌的掃描電子像，或進行晶體學分析或成分分析。在應用中，很多集中在半導體器件和集成電路方面，它可以很詳細地檢查器件工作時局部表面電壓變化的實際情況，這是因為這種變化會帶來象的反差的變化，焊接開裂和腐蝕表面的細節(jié)或相互關系可以很容易地觀察到。

　　它的觀測電疇是通過對樣品表面預先進行化學腐蝕來實現的，由于不同極性的疇被腐蝕的程度不一樣，利用腐蝕劑可在鐵電體表面形成凹凸不平的區(qū)域從而可在顯微鏡中進行觀察。因此，可以將樣品表面預先進行化學腐蝕后，利用掃描電子顯微鏡圖像中的黑白襯度來判斷不同取向的電疇結構。對不同的鐵電晶體選擇合適的腐蝕劑種類、濃度、腐蝕時間和溫度都能顯示良好的疇圖樣。觀察到的PLZT材料的90°電疇。與其他設備的組合以實現多種分析功能。

　　優(yōu)點：

　　1、有較高的放大倍數，2-20萬倍之間連續(xù)可調；

　　2、有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；

　　3、試樣制備簡單。目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此掃描電子顯微鏡是當今十分有用的科學研究儀器。