在真空系統(tǒng)維修頂用戶頭疼的必然是檢測漏率問題了。漏分內(nèi)漏和外漏;外漏斗勁好檢測，內(nèi)漏則難辦些。外漏較大的漏點可以用火焰法，操作氣流能使火焰偏離的道理，先抽上真空，用蠟燭在可疑點附近慢慢查尋，會發(fā)現(xiàn)火苗向漏點偏移，則可找到漏點。內(nèi)漏則要從分歧真空工作區(qū)域分區(qū)排查，在真空系統(tǒng)達到必然壓力值后，分袂啟動卷繞和蒸發(fā)系統(tǒng)，察看普諾克真空泵計的讀數(shù)在短暫下降后有無爬升，可以初步判斷內(nèi)漏點標的目的.

內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷卻點的設(shè)備上，在查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點，可是卻有以下現(xiàn)象：機械泵的抽速較著偏低，真空計示值低，機械泵油很快乳化，真空室內(nèi)的鐵基零部件較著銹蝕等，具備以上條件根基可以揣度內(nèi)漏，先將腔體清理干凈，再通冷卻水，仔細查看通水管路有無潮濕點，潮濕處就是漏點。

可以操作在高真空狀態(tài)下電離管對某些氣體反映敏感來檢漏，好比丙酮或乙醇，用打針器向可疑的處所噴射丙酮或乙醇，連系指針式真空計，噴到漏點時，電離計的指針會有較著擺動，用這種方式檢漏必然要有耐心，要等到電離計的示值不變了，也就是真空機組的抽氣能力和漏率均衡了，再噴射，反復幾回，確認漏點。

　　在維修真空泵的時候切記不成操之過急，故障沒搞清楚就想當然地開始動手拆卸，會舊病未除又添新病，把本來簡單的問題搞復雜化了。