PNK真空系統(tǒng)用于真空蒸餾和真空干燥并回收溶劑是很理想的。特別是用真空控制器進行流程控制使真空壓力可控，進而使工作流程程序化，保證了準確高效地進行真空蒸餾，以及高回收率，節(jié)能，環(huán)保。整個系統(tǒng)在與氣體接觸的部位都做特氟龍(PTFE)涂層處理，所以能保證它的抗化學腐蝕能力。

真空系統(tǒng)的類型：

有帶控制器的自動控制和不帶控制器的手動控制兩大類；帶控制器的有三種：

（1）標準型，由電磁閥調節(jié)氣體流量達到控制真空壓力的目的。

（2）經濟型，通過自動關閉和開啟馬達來達到控制真空壓力的目的。

（3）變頻控制型，由變頻馬達通過改變馬達轉速來達到更加精確地控制真空壓力的目的。

真空系統(tǒng)設計的基本原則：

1.PNK真空系統(tǒng)元件互相連接時，要做到管路短、流導大；導管直徑一般不小于泵入口直徑，特殊情況下例外。

2.機械泵和羅茨泵在工作時會產生振動，需要在人口管道上連接軟管減振，還可以裝規(guī)管檢漏。

3.真空系統(tǒng)建成后，應便于檢漏。因此在每個封閉區(qū)段要設置一個規(guī)管座，便于安裝規(guī)管檢漏。

4.并聯泵可以提高抽速，串聯泵能提高極限真空度。并聯的兩個泵其極限真空度應當基本上在同一個數量級，如擴散泵與機械泵不能并聯。

5.當采用擴散泵或者油增壓泵為主泵的抽真空系統(tǒng)時，其主泵的人口高真空閥蓋板應蓋向主泵的入口，前級管道上的前級閥蓋板應蓋向主泵的出口，預真空管道上的預真空閥蓋板應蓋向爐子的出口。

6.采用羅茨泵為主泵的真空系統(tǒng)時，羅茨泵人口管道上的閥門蓋板應蓋向爐子的出口。在羅茨泵與前級機械泵之間的管道上，可不設置真空閥。

7.在擴散泵與油增壓泵的入口管道上的高真空閥門上，一般應設置一個真空繼電器，保護高真空閥不在大氣壓下開閥，防止破壞高真空閥的傳動機構，又不使大氣進入真空泵，防止油被氧化。

8.在羅茨泵的人口管道上，一般應安置一個真宅繼電器，用來保護羅茨泵只在1.33×l03 Pa的壓力下才能啟動工作；若其壓力超過此值時，則羅茨泵自動斷電，停止工作。

9.在機械泵的入口管道上要設置一個截止閥和一個充氣的閥。當機械泵停止工作時，截止閥立即關閉，放氣閥立即打開，向機械泵通人大氣。這里的截止閥、放氣閥和機械泵的電源連在一起并互相連鎖。

10.測量真空度儀器的規(guī)管座，一般不設置在爐室殼體七，而設置在接真空系統(tǒng)出口管道上。安裝在規(guī)管座上的規(guī)管應上下直立，不得橫放。

11.真空系統(tǒng)上各元件的連接要有互換性，即應選用標準尺寸的元件。

12.對于以油擴散泵和油增壓泵為主泵的真率系統(tǒng)，在這兩種主泵的出口管道上應設置維持真空泵，可以節(jié)約節(jié)能。

保養(yǎng)維護：

1.定期檢查真空泵，做好真空泵的日常維護工作。

2.定期清理及更換真空泵進氣口真空過濾器濾芯。

3.定期檢查電氣控制。

4.定期檢查真空管路及真空罐的密封情況。

降低真空系統(tǒng)漏氣率的措施：

1.結構

真空系統(tǒng)的結構是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)漏氣率的關鍵，真空系統(tǒng)的結構合理與否，將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率。

（1）盡可能地避免出現小曲率半徑的死角，要光滑過渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。

（2）抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道，采用圓弧過渡，使氣路暢通無阻，但要考慮清洗清掃的方便性。

（3）認真設計真空室內各種連接件的結構，使氣路暢通，避免氣路堵塞。

（4）打磨拋光真空系統(tǒng)內表面，表面越光亮就越不易氣體吸附，越容易獲得真空。

（5）盡可能減小真空室的體積，縮短管路系統(tǒng)。

2.密封形式的選擇

密封形式可根據所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封形式，對于人工晶體生長設備，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，無需采用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例，我們選擇磁性流體密封作為旋轉動密封，選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進行移動密封，小直徑軸的旋轉密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封，各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式，直徑壓縮比為25％。

密封件材質的選用：真空度在lO-3Pa以下的真空系統(tǒng)，密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足要求。但是，考慮到實際工作條件的需要(真空室內溫度最高可達2300℃，密封部位進行水冷后，其溫度在80℃左右，個別處溫度可達100℃以上)。所以，要選擇比較理想的密封圈材料。

用于真空密封橡膠材料，除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外，還要求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性，同時要有一定的強度、硬度和彈性等。

3.靜密封結構的選擇

各種真空系統(tǒng)中，80%以上的密封為靜密封，靜密封效果的好壞，對系統(tǒng)的真空度及漏氣率有很大的影響。因此，要對靜密封結構進行認真設計，以達到理想的效果。

對靜密封結構的設計，主要考慮如何選擇主要密封面、如何減小殘留氣體及如何充分發(fā)揮橡膠密封圈功能。

無論是矩形密封槽、燕尾型密封槽還是梯形密封槽，其槽底較小的粗糙度容易獲得為主要密封面，而其側面則較小的粗糙度往往不易獲得。同時，為了消除殘留氣體，在存在殘留氣體處設計了貫通孔，使系統(tǒng)內部各處暢通無阻。