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二維MEMS掃描鏡
  • 二維MEMS掃描鏡

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更新時(shí)間:2025-02-24 13:43:38

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二維MEMS掃描鏡是通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)鏡面傾斜,從而對光束實(shí)現(xiàn)偏轉(zhuǎn)控制的器件。相比掃描振鏡等常見的光束掃描器件,MEMS掃描鏡具有體積小、重量輕、功耗低、對環(huán)境影響不敏感等特點(diǎn),而且MEMS掃描鏡可與位置傳感器集成使用,實(shí)現(xiàn)更高的定位精度。

二維MEMS掃描鏡

微機(jī)電掃描鏡, 又稱MEMS掃描鏡,是通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)鏡面傾斜,從而對光束實(shí)現(xiàn)偏轉(zhuǎn)控制的器件。相比掃描振鏡等常見的光束掃描器件,MEMS掃描鏡具有體積小、重量輕、功耗低、對環(huán)境影響不敏感等特點(diǎn),而且MEMS掃描鏡可與位置傳感器集成使用,實(shí)現(xiàn)更高的定位精度。

 

微機(jī)電掃描鏡, MEMS掃描鏡,MEMS Mirror, MicroMirror, Microscanner, Micro-scanning Mirror

 

二維MEMS掃描鏡

 

這款無轉(zhuǎn)向節(jié)*采用單晶硅材料制成。該中不含有任何移動(dòng)的金屬、塑料和線圈等部件,也沒有易于發(fā)生故障的壓電或電磁促動(dòng)器,所以該具有很高的位置重復(fù)精度與可靠性。同時(shí),這款*由免維護(hù)的純彈性材料(單晶硅)構(gòu)成,并*采用靜電驅(qū)動(dòng)方式,因此工作過程中沒有電流。這款無轉(zhuǎn)向節(jié)可實(shí)現(xiàn)大角度、超快二維光束掃描。二維掃描角度可達(dá)32度,并且功耗極低,僅1mW。該采用線性驅(qū)動(dòng)方式和四象限可尋址靜電梳驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì),保證了很好的電壓與角度的線性度。

 

 

主要特點(diǎn):

 

l  模擬電壓控制可實(shí)現(xiàn)任意角度偏轉(zhuǎn);

l  點(diǎn)到點(diǎn)光束掃描,驅(qū)動(dòng)電壓與掃描角度一一對應(yīng);

l  模塊設(shè)計(jì)方便選擇各種不同尺寸的鏡面,以根據(jù)不同應(yīng)用實(shí)現(xiàn)優(yōu)化;

l  同時(shí)在XY兩個(gè)方向?qū)崿F(xiàn)高速掃描

l  動(dòng)態(tài)模式掃描,XY兩個(gè)方向大角度掃描(e.g. -160 to 160)

 

主要參數(shù):

 

Integrated Mirror Devices

Bonded Mirror Devices

鏡面大小: 0.8mm, 1.2mm, 1.6mm, 20.mm and 2.4mm diameter always in stock

鏡面大小: 2.0, 2.4, 3.0, 3.6, 4.2, and 5.0mm diameter in stock, larger possible in special orders.

點(diǎn)到點(diǎn)驅(qū)動(dòng)模式zui大傾斜角度-6° to +6° mechanical each axis, varies with design type.

  點(diǎn)到點(diǎn)驅(qū)動(dòng)模式zui大傾斜角度: -6° to +6° mechanical on each axis, varies with design type.

共振驅(qū)動(dòng)模式zui大傾斜角度: -7° to +7° mechanical

共振驅(qū)動(dòng)模式zui大傾斜角度: -7° to +7° mechanical, varies with design type.

  • 表面粗糙度: <10 nm rms
  • 驅(qū)動(dòng)方式:靜電驅(qū)動(dòng)
  • 鏡面曲率半徑: >5 m
  • 鏡面鍍膜: Aluminum or Gold
  • 位置重復(fù)精度: better than 0.0005° (500 micro-degrees) at room temperature
  • 工作溫度: -40°C to 105°C
  • 光學(xué)窗口: Anti-reflection coated fused silica windows.
  • 光學(xué)損傷閾值: up to 2W any mirror, any wavelength. Above 2W depends on mirror size, coating, and wavelength. E.g. 3W CW blue or green on a 2mm or larger mirror .
  • 初始共振旋轉(zhuǎn)頻率: >3 kHz for both axes for small mirror sizes, >1.2kHz for 2.0mm size, etc.

 

 

 

MEMS掃描鏡驅(qū)動(dòng)控制器:

 

 

 

 

MEMS掃描鏡整套系統(tǒng)開發(fā)包:

 

    

 

    開發(fā)包標(biāo)準(zhǔn)配置:

u  3個(gè)

u  配套軟件

u  USB MEMS控制器

u  安裝支架

u  光學(xué)面包板

u  5mW 635nm 紅光激光器

 

 

 

    可根據(jù)客戶要求,定制配置方案


 

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