分段式可變形鏡

我們生產(chǎn)小型化，基于微機(jī)電技術(shù)（MEMS）的變形鏡，在價(jià)格，尺寸，功耗，耐用性和靈活性等方面具有顯著優(yōu)勢(shì)。

我們的產(chǎn)品設(shè)計(jì)初衷就針對(duì)大行程，價(jià)格實(shí)惠，體積小巧且具有可擴(kuò)展性等特點(diǎn)出發(fā)，以符合成像應(yīng)用領(lǐng)域的所有要求。

分段式可變形鏡技術(shù)

由于光路偏差導(dǎo)致入射波前產(chǎn)生扭曲，該扭曲可能來(lái)自畸變媒介，如光學(xué)系統(tǒng)與成像物體之間，或者由光學(xué)系統(tǒng)本身帶來(lái)的。 變形鏡（DM）通過(guò)補(bǔ)償光路偏差達(dá)到校正波前畸變的作用。

我們使用的MEMS技術(shù)生產(chǎn)變形鏡。變形鏡采用100到500個(gè)內(nèi)切孔徑從3.5mm到7.7mm的驅(qū)動(dòng)器。下圖所示為PTT489變形鏡，共489個(gè)驅(qū)動(dòng)器組成。由于尺寸小的優(yōu)勢(shì)，MEMS變形鏡在可以，工業(yè)和商業(yè)系統(tǒng)中是選擇。

分段式可變形鏡

分段式變形鏡由緊密封裝的鏡子單元組成的陣列，每一個(gè)鏡子單元可以在三個(gè)自由度方向上，伸縮，翻倒，傾斜獨(dú)立控制。上圖顯示如何安置變形鏡陣列，下圖列出了Zernike多項(xiàng)式模型下，鏡子可以實(shí)現(xiàn)光滑形變的形狀。

除了光滑的鏡面面型外，變形鏡也能產(chǎn)生相位跳變的形狀，如相位陣列，菲涅爾反射器，甚至渦旋光。 在渦旋光應(yīng)用中，研究人員使用PTT111變形鏡（111個(gè)驅(qū)動(dòng)器，37 PTT單元）產(chǎn)生的渦旋光比使用典型的相位板產(chǎn)生的渦旋更純凈（如下圖示）。由于變形鏡是主動(dòng)元件，只要不超過(guò)變形鏡行程的渦旋信息都可以實(shí)時(shí)讀入變形鏡，并獲得干凈的圖樣。

分段技術(shù)比連續(xù)式變形鏡有很多優(yōu)勢(shì)。分段式變形鏡校正時(shí)比任何其他技術(shù)的變形鏡更精確。區(qū)別于大部分變形鏡制造商，我們AO可以校正變形鏡所有項(xiàng)目。（我們 AO是*個(gè)可以提供完整校正的變形鏡系統(tǒng)的制造商）校正后，變形鏡可以使用直觀的位置命令（piston/tip/tilt）或者Zernike系數(shù)設(shè)定位置。

我們的變形鏡獨(dú)立單元質(zhì)量*，分段間隙非常小，校正很精確，研究人員把AO PTT111變形鏡（111個(gè)驅(qū)動(dòng)器，37 PTT單元）的性能表現(xiàn)作為其他連續(xù)式變形鏡的標(biāo)準(zhǔn) [REF Roorda paper]。 分立單元變形鏡質(zhì)量如此好，以至于NASA的研究人員正使用AO DMs研發(fā)天基望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)，zui終將實(shí)現(xiàn)探測(cè)軌道靠近恒星的極小行星 [REFERENCE RICK LYON PAPERS 2012],[REFERENCE RICK LYON PAPERS 2010]?？梢?jiàn)，我們AO分立式變形鏡可以用于所有連續(xù)變形鏡使用的領(lǐng)域，也可以用于只能用分立式變形鏡的應(yīng)用中。

我們AO技術(shù)的核心優(yōu)勢(shì)是能適應(yīng)很大的溫度變化，可以做各種光學(xué)鍍膜。目前，活躍領(lǐng)域是帶介質(zhì)膜的變形鏡。測(cè)試表明變形鏡可以承受300W/cm^2平均功率密度而不需要熱沉。分析表面，如果加上熱沉和輕微改良的鍍膜，變形鏡可以承受3KW/cm^2的平均功率密度。其他測(cè)試表明，對(duì)于脈沖激光，可以承受峰值功率密度1.7GW/cm^2。這些測(cè)試數(shù)據(jù)如此可喜，以致我們AO贏得了國(guó)家自然基金的Phase  II SBIR ，進(jìn)一步發(fā)展變形鏡在科研和工業(yè)激光器方面的應(yīng)用。

變形鏡的應(yīng)用正穩(wěn)步增長(zhǎng)，我們AO正積極發(fā)展變形鏡以符合新應(yīng)用要求。

1.      PTT111 DM系統(tǒng)包括

＊出廠校正過(guò)的PTT111-5變形鏡             

＊Smart Drier Ⅱ驅(qū)動(dòng)器                  

＊PCB界面板

＊機(jī)械安裝臺(tái)

＊接口電纜

PTT111 變形鏡可選項(xiàng)：

＊大行程：8µm

＊高速電腦界面支持幀頻 >6.5kHz

＊188-1550nm介質(zhì)膜

＊幾何上匹配夏克-哈特曼微透鏡陣列            

2. PTT111L DM系統(tǒng)包括

＊出廠校正過(guò)的PTT111L-5變形鏡                       

＊Smart Drier Ⅱ驅(qū)動(dòng)器

＊PCB界面板

＊機(jī)械安裝臺(tái)

＊接口電纜

PTT111L 變形鏡可選項(xiàng)：

＊大行程：8µm

＊高速電腦界面支持幀頻 >6.5kHz

＊188-1550nm介質(zhì)膜

＊幾何上匹配夏克-哈特曼微透鏡陣列

3. PTT489 DM系統(tǒng)包括

＊出廠校正過(guò)的PTT489-5變形鏡

＊Smart Drier Ⅱ-512 USB驅(qū)動(dòng)器

＊PCB界面板

＊機(jī)械安裝臺(tái)

＊接口電纜

         PTT489 變形鏡可選項(xiàng)：

＊大行程：8µm

＊高速電腦界面支持幀頻 >6.5kHz

＊188-1550nm介質(zhì)膜

＊降低階數(shù)的配置：183,255，或者363個(gè)驅(qū)動(dòng)器

＊幾何上匹配夏克-哈特曼微透鏡陣列             

詳細(xì)參數(shù)