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高精度位移測量儀-激光干涉儀
  • 高精度位移測量儀-激光干涉儀

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更新時(shí)間:2025-02-06 16:18:08

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昊量光電推出的PICOSCALE位移測量儀產(chǎn)品是基于激光干涉方法設(shè)計(jì)的非接觸式位移和振動(dòng)測量設(shè)備。因?yàn)椴恍枰锢斫佑|,所以測量不會(huì)影響物體。這尤其適用于較小的物體,它們的動(dòng)力學(xué)很容易受到傳統(tǒng)測量探頭的影響。微位移測量儀廣泛應(yīng)用于定位技術(shù)中,可以在pm分辨率下位移跟蹤定位。高精度位移測量儀-激光干涉儀

高精度位移測量儀-激光干涉儀

昊量光電推出的PICOSCALE位移測量儀產(chǎn)品是基于激光干涉方法設(shè)計(jì)的非接觸式位移和振動(dòng)測量設(shè)備。因?yàn)椴恍枰锢斫佑|,所以測量不會(huì)影響物體。這尤其適用于較小的物體,它們的動(dòng)力學(xué)很容易受到傳統(tǒng)測量探頭的影響。微位移測量儀廣泛應(yīng)用于定位技術(shù)中,可以在pm分辨率下位移跟蹤定位。我們提供可用于一般用途或優(yōu)化特定的任務(wù)的各種傳感頭,如角度或差分測量。此外,我們提供用于真空、低溫或其他惡劣環(huán)境的傳感器頭。由于它們的緊湊性,它們幾乎適用于所有的設(shè)置。

除了測量位移,位移測量激光干涉儀還可用于描述運(yùn)動(dòng)過程中的動(dòng)態(tài)性能。由于位置數(shù)據(jù)是在非常高的帶寬下測量的,因此可以實(shí)時(shí)準(zhǔn)確地識別振動(dòng),并進(jìn)行詳細(xì)的振動(dòng)模態(tài)分析。

基本原理:

所有的PICOSCALE高精度位移測量儀都基于邁克爾遜干涉儀,這是一種測量位移和振動(dòng)的精確方法。邁克爾遜干涉儀由一個(gè)波長穩(wěn)定激光器、一個(gè)分束器、一個(gè)目標(biāo)和一個(gè)參考鏡組成。在分束器上,來自激光的光被分成兩支。一只手臂指向目標(biāo)表面,另一只手臂指向參考鏡。當(dāng)兩臂的光分別被目標(biāo)表面和參考鏡反射后,再回到分束器。這里,兩條手臂重新組合,發(fā)生了干涉。干涉信號包含目標(biāo)表面相對于參考鏡的位移信息。

高精度位移測量儀-激光干涉儀

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