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2025/08/14
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quDIS皮米級精度激光干涉儀工作范圍0-1400mm，目標速度可達1m/s；信號穩(wěn)定性＜50pm，支持3通道測試，新升級了外部時鐘同步觸發(fā)功能。根據(jù)測試需求提供多種類型探頭，AMU環(huán)境補償單元可以補償溫度，壓力和濕度引起的誤差以及空氣折射率變化，精度高達±1ppm。quDIS皮米精度位移激光干涉儀在原理上同樣采用激光干涉法，不過與傳統(tǒng)激光干涉儀相比，其集成了法珀腔（Reference Cavity）及飽和吸收氣室（GC）作為頻率校準參考，通過激光波長調(diào)諧掃描，比較兩種不同的干涉圖樣。基于這種測量方式，使得quDIS相對其他產(chǎn)品測量距離可以達到1400mm的同時保持高精度，且與信號對比度和強度無關(guān)，由于使用整個干涉模式來提取位移信息，因此不存在非線性誤差。此外，皮米精度位移激光干涉儀quDIS不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實時信號中提取得到。
