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GasPro™ 過(guò)濾器TEM-3715-8用于集成電路行業(yè)
TEM-3700超高純度鎳316L在線過(guò)濾3700超高純度鎳316L在線過(guò)濾
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GasPro公司 TEM-3700系列過(guò)濾器
用于過(guò)濾超高壓半導(dǎo)體氣體當(dāng)采用緊湊、全金屬、耐腐蝕設(shè)計(jì)時(shí)是必需的。這種全焊接組件將提供3nm需要低壓降時(shí)的顆粒滯留空間有限。
鎳介質(zhì)封裝在316L不銹鋼全焊接過(guò)濾器中，具有良好的烘烤特性用于快速干燥和在線鑒定。標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工業(yè)配件用于易于安裝。
TEM-3700技術(shù)規(guī)格
•過(guò)濾等級(jí)有效的3 nm顆粒保留。
•高工作溫度惰性氣體中為200°C（392°F）。
•大工作壓力3700、3740、3370系列：20°C（68°F）時(shí)為206.8 bar（3000 psig）。
功能和優(yōu)點(diǎn)
•電拋光外殼過(guò)濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼，防止腐蝕和內(nèi)表面上的顆粒堆積。
•包裝外清潔度
我們的GasPro™ 清潔TEM-3700過(guò)濾器包裝在無(wú)有機(jī)物的潔凈室中包裝外、無(wú)顆粒和無(wú)化學(xué)清潔度。凈化總裝用過(guò)濾氮?dú)膺M(jìn)行初始清潔。附加的預(yù)處理是可選的。
•施工
316L封裝的燒結(jié)鎳?yán)w維介質(zhì)不銹鋼外殼。
•氦泄漏測(cè)試所有裝置均測(cè)試為1x10-9 atm cc/s。
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