德國Suragus面阻測試儀

簡介

德國Suragus面阻測試儀，其通過渦流的原理測量材料面阻值，該技術是一種非接觸式面阻測試技術且測試準確穩(wěn)定，對于無損檢測、在線監(jiān)測具有重要意義。

規(guī)格參數(shù)

測量模式：非接觸式實時測量

襯底：foils, glass, wafer等

平臺尺寸：8 inch / 204 x 204 mm（其他規(guī)格請聯(lián)系）

面阻范圍： 0.0001 to 3,000 Ohm/sq

薄膜厚度：2nm – 2mm（依據(jù)面阻而定）

設備尺寸：11.4 x 17.5 x 5.5 inch / 290 x 445 x 140 mm@10 Kg

功能圖解

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