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臺(tái)式勻膠機(jī)

閱讀:781        發(fā)布時(shí)間:2019-7-4

臺(tái)式勻膠機(jī)型號(hào):KWD

KWD臺(tái)式勻膠機(jī):(Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合硅片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。 

KWD臺(tái)式勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù):旋轉(zhuǎn)速度:200-2000rpm,精度:±0.5%
勻膠時(shí)間:3-60s可調(diào)
基材尺寸:Φ200-Φ600 200mm×200mm~500×500mm
材料: 硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP等多種材料

電機(jī)功率:320w
LED數(shù)字顯示:轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±0.5%,膠的均勻性:±5%
大加速度:加速度:≥500rpm/sec
KWD臺(tái)式勻膠機(jī)器尺寸:980mm×855mm×855mm

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