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BLD 高純凈型壓力表

 
YTJ 高純凈型壓力表主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域。產(chǎn)品根據(jù)潔凈度等級(jí)，可分為 (YTJA) A 級(jí) (YTJB) / BA 級(jí)
(YTJE) / EP 級(jí) 3 種類型
◆ 根據(jù)使用特性可選擇 SUS316Ti、SUS316、SUS316L 等不同材料的測(cè)壓元件。
◆ 支持 G1/4、NPT1/4、9/16-18UNF、1/4VCR（M）、1/4VCR（F）等多種連接形式。
◆ 所有零部件都經(jīng)過超聲波純水處理。
◆ 選用無氧真空室的高純氬氣保護(hù)焊接作業(yè) 。
◆ 產(chǎn)品經(jīng)過嚴(yán)格的耐壓及氣密性檢測(cè)。氣密性可達(dá)到 1 × 10-10 Pa·m3 /s。
◆ 測(cè)量范圍：-0.1~0 至 0-35MPa。
◆ 示值精度：1.5%；2.5%。

 高純凈表潔凈度等級(jí)

 A 級(jí)
清洗：藥液超聲波清洗，純水超聲波清洗
組裝調(diào)試：潔凈室（潔凈度 10000）
包裝：N2
氣體吹掃，密封包裝

 BA 級(jí)
零件：（氣體接觸部位）機(jī)械拋光處理
清洗：藥液超聲波清洗，純水超聲波清洗
潔凈度：等級(jí) VI（ASME B40，1 Level）
組裝調(diào)試：潔凈室（潔凈度 10000 ISO Class4）
工作臺(tái)（潔凈度 100 ISO Class2）
包裝：N2
氣體吹掃，PET 袋真空密封包裝

 EP 級(jí)
零件：（氣體接觸部位）電解拋光
清洗：藥液超聲波清洗，純水超聲波清洗
潔凈度：(ISO Class 1) 在 0.1 μ m 以上的肉眼
 不可見微粒子數(shù)量 10 個(gè)以內(nèi)。
組裝調(diào)試：潔凈室（潔凈度1000 ISO Class3）工作臺(tái)（潔凈度100 ISO Class2）
包裝：N2 氣體吹掃，PET 袋真空密封包裝