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美國泰克4200A-SCS 參數分析儀概述
使用 4200A-SCS 加快半導體設備、材料和工藝開發(fā)的探索、可靠性和故障分析研究。 高性能參數分析儀，提供同步電流-電壓 （I-V）、電容-電壓 （C-V） 和超快脈沖 I-V 測量。
產品簡介
詳細介紹
美國泰克4200A-SCS 參數分析儀特性
大膽發(fā)現從未如此容易。 4200A-SCS 參數分析儀可將檢定和測試設置的復雜程度降低高達 50%，提供清晰且不折不扣的測量和分析功能。 另外，嵌入式測量專業(yè)知識可提供測試指南并讓您對結果充滿信心。
4200A-CVIV 多通道切換模塊自動在 I-V 和 C-V 測量之間切換，無需重新布線或抬起探頭端部。 與競爭產品不同，四通道 4200A-CVIV 顯示器提供本地可視查看，可快速完成測試設置，并在出現意想不到的結果時輕松排除故障。
簡單地說，4200A-SCS 可以*自定義且全面升級，您可以對半導體設備、新材料、有源/無源組件、晶片級可靠性、故障分析、電化學或幾乎任何類型的樣本執(zhí)行電氣檢定和評估。
4200A-SCS 參數分析儀支持許多手動和半自動晶片探測器和低溫控制器，包括 Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低溫控制器。
美國泰克4200A-SCS 參數分析儀技術參數
| 型號 | 說明 | 主要測量 | 范圍 | 測量分辨率 |
| 4200-SMU | 中等功率源測量單元 | DC I-V 超低頻率 C-V 準靜態(tài) C-V | ±100 mA, ±210 V | 0.2 mV, 100 fA |
| 4210-SMU | 高功率源測量單元 | ±1 A, ±210 V | 0.2 mV, 100 fA | |
| 4200-PA | 遠程前端放大器模塊 | 擴展所有 SMU 的電流范圍 | 0.2 mV, 10 aA | |
| 1 kHz - 10 MHz | ||||
| 4210-CVU | 電容電壓單元 | AC 阻抗 C-V, C-f, C-t | ±30 V 內置DC 偏置裝置(60 V 差分) 使用 SMU 擴展直流偏置電壓至 | - |
| ±210V | ||||
| 4200A-CVIV | I-V/C-V 多通道 開關模塊 | DC I-V 和 C-V 自動切換 | - | - |
| 脈沖式 I-V SegmentARBR® 多電平脈沖 瞬態(tài)波形捕獲 | ±40 V (80 V p-p), ±800 mA 200 MSa/s 同時測量電流和電壓 | |||
| 4225-PMU | 超快速脈沖測量單元 | 2048 個段 | 75 nA | |
| 20 ns 脈寬僅輸出時 | ||||
| 60 ns 脈寬輸出同時測流時 | ||||
| 4225-RPM | 遠程前段放大器 / 開關模塊 | DC I-V、C-V、脈沖式 I-V 間自動切換 | 擴展 4225-PMU 單元的電流范圍 | 200 pA |
| 4220-PGU | 高壓脈沖發(fā)生器單元 | 脈沖式電壓源 Segment ARB® 多電平脈沖 | ±40 V (80 Vp-p) 2048 個段 | - |
| 接地單元 | 內置低噪聲接地單元 | - | 三同軸連接 : 2.6 A 接線柱 : 9.5 A |