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技術(shù)文章

德國匯流排減壓器實驗室氣路安裝

閱讀:1134          發(fā)布時間:2019-2-22

德國匯流排減壓器實驗室氣路安裝                                                                                                         氣體管路實驗室分析儀器,氣體管路非標實驗設(shè)備,氣體管路連接及接頭的設(shè)計加工。從氣瓶房到實驗室氣體管路的氣體管線,實驗室內(nèi)氣路箱的設(shè)計安裝,氣體報警裝置的設(shè)計安裝。
使用**進的自動焊接施工工藝安裝管道、減壓器、壓力表、高壓金屬軟管、鋼瓶接頭、焊接接頭、卡套接頭、不銹鋼潔凈管等。
(1)易燃性氣體
把自燃、易燃、可燃氣體等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒,當(dāng)環(huán)境溫度達到一定時,PH3與B2 H6等氣體也會產(chǎn)生自燃。可燃易燃氣體都有一定的著火燃燒**范圍,即上限、下限值。此范圍越大的氣體起**燃燒危險性就越高,如B 2H6的**上限為98%,**下限為0.9%。屬于易燃氣體有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。
毒性氣體(Toxic Gas):半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性大,它們的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微,因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。
(3)腐蝕性氣體(Corrosive Gas):這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬,但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強的腐蝕性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。
惰性氣體(Inert Gas): 隋性氣體本身一般不會直接對人體產(chǎn)生傷害,在氣體傳輸過程中,相對于安全上的要求不如以上其他氣體嚴格。但惰性氣體具有窒息特性,在密閉空間若發(fā)生泄漏會使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
(5)氧化性氣體(Oxide Gas):這類氣體有較強的氧化性,一般同時具有其他特性,如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。                                                                                   德國匯流排減壓器實驗室氣路安裝      

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