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與硅片所接觸的材料，設(shè)備，人員等外界環(huán)境都包含有機(jī)化合物。在該實(shí)例中，一塊8英寸硅片被壓覆于一塊晶片加熱板上。晶片表面所產(chǎn)生的揮發(fā)性氣體可以通過一臺(tái)GC-MS進(jìn)行收集和分析。

 

通常，塑料材質(zhì)的零配件會(huì)檢測出包含C12（1-十二碳烯）、環(huán)甲基硅氧烷（n=6）和二羧酸酯組分。

 

氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀

通過加熱晶圓片，分析有機(jī)物揮發(fā)出的氣體組分所對(duì)應(yīng)的色譜圖，進(jìn)而對(duì)附著于晶片的有機(jī)物進(jìn)行定性分析。樣品可以通過一個(gè)氣體收集器進(jìn)行采集。此檢測系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)ng級(jí)樣品濃度的定量分析。